測量高倍式檢測儀 TAM-990詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TAM-990型 檢測顯微鏡采用UIS無(wú)限遠光學(xué)系統、長(cháng)壽命鹵素燈光源的、明暗場(chǎng)、偏光、微分干涉功能、采用非球面Kohler照明,增加觀(guān)察亮度、可插DIC微分干涉裝置的五孔轉換器等特點(diǎn)。適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀(guān)察透明、半透明或不透明的物資,使用時(shí)能夠體驗其性能,可廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測,可觀(guān)察較厚的標本。
二、儀器特點(diǎn)
1.動(dòng)態(tài)觀(guān)察所測的工件的圖像
2.捕捉、保存、修改、打印圖像
3.基本元素的測量
?、?點(diǎn):構成點(diǎn)素
?、?線(xiàn):兩點(diǎn)構成線(xiàn)、等分線(xiàn)段、角平分線(xiàn)、垂線(xiàn)
?、?圓:三點(diǎn)構成圓、等分圓、圓的面積
?、?圓?。喝c(diǎn)構成弧、等分弧
?、?角度:三點(diǎn)構成角、兩直線(xiàn)構成角
?、?矩形、橢圓的面積
4.各種位置關(guān)系
?、贉y量點(diǎn)線(xiàn)關(guān)系 ②兩線(xiàn)關(guān)系 ③線(xiàn)圓關(guān)系 ④圓圓關(guān)系 ⑤圖像標注
2.捕捉、保存、修改、打印圖像
3.基本元素的測量
?、?點(diǎn):構成點(diǎn)素
?、?線(xiàn):兩點(diǎn)構成線(xiàn)、等分線(xiàn)段、角平分線(xiàn)、垂線(xiàn)
?、?圓:三點(diǎn)構成圓、等分圓、圓的面積
?、?圓?。喝c(diǎn)構成弧、等分弧
?、?角度:三點(diǎn)構成角、兩直線(xiàn)構成角
?、?矩形、橢圓的面積
4.各種位置關(guān)系
?、贉y量點(diǎn)線(xiàn)關(guān)系 ②兩線(xiàn)關(guān)系 ③線(xiàn)圓關(guān)系 ④圓圓關(guān)系 ⑤圖像標注
三、技術(shù)參數
1.目鏡
類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)直徑(mm) |
大視野目鏡 | 10X | 25 |
分劃目鏡 | 10X | 20 |
2.物鏡
類(lèi)型 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
無(wú)限遠長(cháng)距 明暗場(chǎng)物鏡 | 5X | 0.12 | 29.4 |
10X | 0.25 | 16 | |
20X | 0.40 | 10.6 | |
40X | 0.70 | 5.4 |
3.光學(xué)放大倍數:50X400X
4.目鏡簡(jiǎn):30°鉸鏈式三目(50mm-75mm),插板式濾色片(綠、藍、中性)
5.轉換器:帶DIC插孔五孔轉換器
6.調焦:粗、微動(dòng)同軸調焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機構 微動(dòng)格值0.002mm
7.機械工作臺:雙層移動(dòng)平臺 ,平臺尺寸:190mm×140mm ,移動(dòng)范圍:50mm×40mm
8.偏光裝置:檢偏鏡可360度轉動(dòng),起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路
9.照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素燈12V/50W,AC85V-230V,亮度可調節
4.目鏡簡(jiǎn):30°鉸鏈式三目(50mm-75mm),插板式濾色片(綠、藍、中性)
5.轉換器:帶DIC插孔五孔轉換器
6.調焦:粗、微動(dòng)同軸調焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機構 微動(dòng)格值0.002mm
7.機械工作臺:雙層移動(dòng)平臺 ,平臺尺寸:190mm×140mm ,移動(dòng)范圍:50mm×40mm
8.偏光裝置:檢偏鏡可360度轉動(dòng),起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路
9.照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素燈12V/50W,AC85V-230V,亮度可調節
四、系統組成
(TAM-990):1、檢測顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集)5、測量軟件
五、總放大參考倍數
TAM-990型:502500倍
六、選購件
1.物鏡:50X 80X 100X 2.圖像分析軟件