東莞普諾克真空科技有限公司專(zhuān)業(yè)設計制造個(gè)性化的*真空系統,公司擁有專(zhuān)業(yè)性的設計施工隊伍,可以根據客戶(hù)的不同需求進(jìn)行設計與組建,同時(shí)提供一站式的真空抽濾系統服務(wù):咨詢(xún)、設計、安裝、現場(chǎng)調試及售后跟蹤服務(wù)。
真空抽濾系統型號:PNK100(1 x RH0100)
抽速:100m3/hhttp://www.pronotek。。com/
極限壓力:0.1(15)mbar
緩沖罐體:100L
電機功率:3.0Kw
尺寸:1100×425×900mm
真空抽氣接口尺寸數量:12×6
*真空站優(yōu)勢:
1.涵蓋眾多小型真空消費者的需求
2.模塊化設計,根據客戶(hù)的具體流程定制
3.操作簡(jiǎn)單
4.節省空間的系統解決方案
5.投資回報率高,優(yōu)良的性?xún)r(jià)比
6.節能功能
7.擁有成本低
8.由于緩沖體積循環(huán)時(shí)間減少(無(wú)限泵送速度效應)
9.完整的一站式系統,可隨時(shí)運行
降低漏氣率的措施:
1.真空系統的結構
真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關(guān)鍵,真空系統的結構合理與否,將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。
(1)盡可能地避免出現小曲率半徑的死角,要光滑過(guò)渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
(2)抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過(guò)渡,使氣路暢通無(wú)阻,但要考慮清洗清掃的方便性。
(3)認真設計真空室內各種連接件的結構,使氣路暢通,避免氣路堵塞。
(4)打磨拋光真空系統內表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。
(5)盡可能減小真空室的體積,縮短管路系統。
2.密封形式的選擇
密封形式可根據所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封形式,對于人工晶體生長(cháng)設備,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,無(wú)需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例,我們選擇磁性流體密封作為旋轉動(dòng)密封,選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動(dòng)密封,小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封,各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,直徑壓縮比為25%。
密封件材質(zhì)的選用:真空度在lO-3Pa以下的真空系統,密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿(mǎn)足要求。但是,考慮到實(shí)際工作條件的需要(真空室內溫度zui高可達2300℃,密封部位進(jìn)行水冷后,其溫度在80℃左右,個(gè)別處溫度可達100℃以上)。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面、無(wú)劃傷、無(wú)裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性,同時(shí)要有一定的強度、硬度和彈性等。
3.靜密封結構的選擇
各種真空系統中,80%以上的密封為靜密封,靜密封效果的好壞,對系統的真空度及漏氣率有很大的影響。因此,要對靜密封結構進(jìn)行認真設計,以達到理想的效果。
對靜密封結構的設計,主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。
無(wú)論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽,其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面,而其側面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時(shí),為了消除殘留氣體,在存在殘留氣體處設計了貫通孔,使系統內部各處暢通無(wú)阻。