FS4000微型氣體流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測量和過(guò)程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類(lèi)清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
FS4000系列氣體流量計是采用微機電系統(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專(zhuān)為普通氣體流量監測開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內徑為3mm,成本低測量范圍*到5SLPM;適用于粒子計數器和各類(lèi)分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內徑為8mm,測量范圍*到50SLPM;可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測,如:空氣采樣機,氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無(wú)需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數據或由上位機查詢(xún)輸出數據,也可通過(guò)模擬接口輸出線(xiàn)性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩定度高
- 全量程高穩定性、高度和優(yōu)良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快