無(wú)塵車(chē)間工程在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學(xué)科。凈化工程所特別設計的房間
潔凈室中的氣壓規定
對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：
1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
潔凈室中的氣流速度規定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時(shí)再說(shuō)明。
對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對室內氣流速度也有如下要求；
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。無(wú)塵車(chē)間工程
(2)吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。
對于平行流潔凈室《習慣上稱(chēng)層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過(guò)去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠(chǎng)房設計規范））都是這樣規定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規定基本上滿(mǎn)足控制污染的要求，但認為應區別不同情況分出不同的檔別，更能體現節能的目的。
潔凈室中的噪聲控制
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿(mǎn)足必要的談話(huà)聯(lián)系及**舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：
1．煩惱的效應
由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。
2．對工作效率的影響
這主要看三方面的反應水平，這三個(gè)方面是：集中精神，動(dòng)作準確性，工作速度；
3．對綜合通訊的干擾
這主要分為：清楚或滿(mǎn)意，稍困難，困難，不可能
對以上三方面指標都用A聲級來(lái)評價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線(xiàn)作為評價(jià)標準即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過(guò)該曲線(xiàn)。后來(lái)了解到刷A等級來(lái)計量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺適，可以代替倍頻帶聲壓級作為評價(jià)標準的指標。
根據中國建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠(chǎng)房設計規范》而進(jìn)行的測定資料，在65dB(A)以下時(shí)，只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí)，其影響對工作效率的三方面反應表現出較低水平；在60dB(A)以下說(shuō)話(huà)清楚滿(mǎn)意．60～75dB(A)時(shí)有一定困難，犬于75dB很困難。因此認為潔凈室噪聲水平以65d)為宜，此時(shí)可使高煩惱率小于30%；保證一般通話(huà)；對工作效率影響很小
潔凈室的照度控制
由于潔凈室內的工作內容大都有精細的要求，而且又都是密閉性房屋，所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式：
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個(gè)被照面積而設置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠(chǎng)房設計規范》應占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國外潔凈室的強度要求，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標準的要**．
100級: 1080-16001x
10000級: >lOOOlx
100000級: >1000LX
人工光300lx有較好的效果，當工件精細程度更高時(shí)，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車(chē)間，其照度一般為25—501x)，
用天然光時(shí)可允許更高的照度，因而對工作是有利的，所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，這也是為了節能而出現的一種動(dòng)向。
潔凈室中的防靜電
無(wú)塵車(chē)間工程中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。
所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀態(tài)，而使電荷過(guò)剩，物體呈帶電狀態(tài)，由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的，故稱(chēng)靜電。
在潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；無(wú)塵車(chē)間工程
1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不**和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；
2．靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動(dòng)作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門(mén)柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作；
4．靜電放電的發(fā)光可導致照像肢片等感光破壞；
5．靜電的力學(xué)現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線(xiàn)紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；
6．靜電放電引起的*危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統計，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次；
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現為越容易帶電。
靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的
作用控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。
分類(lèi)亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型，空氣由覆蓋率99%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
復合式(Mixed Type)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域99%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為*適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
無(wú)塵車(chē)間工程局部潔凈工程
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較**之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
無(wú)塵車(chē)間工程空氣潔凈度等級標準及規范
經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準，都規定了有關(guān)的潔凈度等級，例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》（GBJ73-84），1996年該規范進(jìn)行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。
潔凈室中的氣壓規定
對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：
1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
潔凈室中的氣流速度規定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時(shí)再說(shuō)明。
對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對室內氣流速度也有如下要求；
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。無(wú)塵車(chē)間工程
(2)吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。
對于平行流潔凈室《習慣上稱(chēng)層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過(guò)去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠(chǎng)房設計規范））都是這樣規定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規定基本上滿(mǎn)足控制污染的要求，但認為應區別不同情況分出不同的檔別，更能體現節能的目的。
潔凈室中的噪聲控制
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿(mǎn)足必要的談話(huà)聯(lián)系及**舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：
1．煩惱的效應
由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。
2．對工作效率的影響
這主要看三方面的反應水平，這三個(gè)方面是：集中精神，動(dòng)作準確性，工作速度；
3．對綜合通訊的干擾
這主要分為：清楚或滿(mǎn)意，稍困難，困難，不可能
對以上三方面指標都用A聲級來(lái)評價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線(xiàn)作為評價(jià)標準即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過(guò)該曲線(xiàn)。后來(lái)了解到刷A等級來(lái)計量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺適，可以代替倍頻帶聲壓級作為評價(jià)標準的指標。
根據中國建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠(chǎng)房設計規范》而進(jìn)行的測定資料，在65dB(A)以下時(shí)，只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí)，其影響對工作效率的三方面反應表現出較低水平；在60dB(A)以下說(shuō)話(huà)清楚滿(mǎn)意．60～75dB(A)時(shí)有一定困難，犬于75dB很困難。因此認為潔凈室噪聲水平以65d)為宜，此時(shí)可使高煩惱率小于30%；保證一般通話(huà)；對工作效率影響很小
潔凈室的照度控制
由于潔凈室內的工作內容大都有精細的要求，而且又都是密閉性房屋，所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式：
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個(gè)被照面積而設置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠(chǎng)房設計規范》應占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國外潔凈室的強度要求，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標準的要**．
100級: 1080-16001x
10000級: >lOOOlx
100000級: >1000LX
人工光300lx有較好的效果，當工件精細程度更高時(shí)，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車(chē)間，其照度一般為25—501x)，
用天然光時(shí)可允許更高的照度，因而對工作是有利的，所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，這也是為了節能而出現的一種動(dòng)向。
潔凈室中的防靜電
無(wú)塵車(chē)間工程中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。
所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀態(tài)，而使電荷過(guò)剩，物體呈帶電狀態(tài)，由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的，故稱(chēng)靜電。
在潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；無(wú)塵車(chē)間工程
1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不**和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；
2．靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動(dòng)作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門(mén)柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作；
4．靜電放電的發(fā)光可導致照像肢片等感光破壞；
5．靜電的力學(xué)現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線(xiàn)紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；
6．靜電放電引起的*危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統計，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次；
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現為越容易帶電。
靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的
作用控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。
分類(lèi)亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型，空氣由覆蓋率99%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
復合式(Mixed Type)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域99%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為*適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
無(wú)塵車(chē)間工程局部潔凈工程
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較**之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
無(wú)塵車(chē)間工程空氣潔凈度等級標準及規范
經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準，都規定了有關(guān)的潔凈度等級，例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》（GBJ73-84），1996年該規范進(jìn)行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。
