密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀
在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過(guò)程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對濕氣的持續追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來(lái)在線(xiàn)測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗，結合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價(jià)位變送器。
Pura高純氣體露點(diǎn)變送器
這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器，專(zhuān)門(mén)用來(lái)測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡(jiǎn)單，可選兩線(xiàn)制、三線(xiàn)制和危險區域的型號，是一款可自定義的產(chǎn)品，可以滿(mǎn)足各種特殊需求。
亮點(diǎn)
- 測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
- 測量穩定，重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數字輸出
- 安裝簡(jiǎn)便
- VCR 過(guò)程接口
- 設計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
高純氣體微量露點(diǎn)變送器
在許多高純氣體的應用中，如半導體行業(yè)，氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據以往的經(jīng)驗，微量水分測量一直是一個(gè)難題，這需要使用復雜或昂貴的分析儀測量?，F在，密析爾推出了一款簡(jiǎn)單、經(jīng)濟的產(chǎn)品，可以在線(xiàn)測量露點(diǎn)達-120°C （小于1ppb）。
Pura露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準的經(jīng)驗和專(zhuān)長(cháng)。工業(yè)標準材料和制造工藝結合的低成本變送器，適用于大規模集成半導體制造廠(chǎng)或高純氣體管線(xiàn)中。
使用簡(jiǎn)單
這種獨立的變送器設計成可無(wú)縫接入純氣的過(guò)程應用中，并可提供可靠的測量結果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內部采用0.25Ra μm，以達到最小的吸濕性，潔凈度達到清潔室標準。
該變送器交付完整的校準和操作，并提供4-20mA的校準輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或控制系統。
該產(chǎn)品的設計具有最小的內部結構。這確保了過(guò)程應用中最kuai的響應速度，也保證了濕度測量時(shí)的最kuai響應速度。傳感器密封墊圈可以在最小壓力10-9torr內工作，同時(shí)整個(gè)系統可承受的最da壓力為240 Barg (3480 psi)。
安裝和操作簡(jiǎn)便
Pura安裝簡(jiǎn)單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標準。整個(gè)產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個(gè)兩線(xiàn)或三線(xiàn)制的變送器，提供最da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
可選的顯示
假如應用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值，Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。
服務(wù)與校準
密析爾為想要最少停機時(shí)間和設備可追溯性的用戶(hù)提供以下兩種服務(wù)：
傳感器替換 –用戶(hù)可以簽訂一個(gè)有保障的合同，可以更換傳感器。當傳感器出現問(wèn)題時(shí)，可以把更換下來(lái)的傳感器返回密析爾檢測，從而實(shí)現零停機時(shí)間。
校準 – 用戶(hù)將傳感器返回密析爾，密析爾會(huì )對返回的傳感器進(jìn)行檢查和校準。這樣為過(guò)程中的傳感器就可以實(shí)現可追溯性。
陶瓷阻抗傳感器
Pura采用阻抗技術(shù)，是基于水分子的導電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導電層。導電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進(jìn)入感濕層的水分子的數量，即對應于導電層之間的阻抗值。露點(diǎn)值和水氣分壓有一一對應關(guān)系。經(jīng)過(guò)校驗，阻抗值和露點(diǎn)值的對應關(guān)系建立起來(lái)，被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器的結構強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所的穩定性。
技術(shù)指標 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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