光電輪廓儀的應用范圍很廣,它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀(guān)三維結構,如表面粗糙度;零件表面的刻線(xiàn);刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說(shuō),如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標尺、度盤(pán)的刻線(xiàn)深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤(pán)、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由于儀器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量等特點(diǎn),并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果,本儀器適用于各級測試、計量研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車(chē)間和高等院校及科學(xué)研究單位等。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣;
應用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質(zhì)量;
用低壓電源代替高壓電源,節省了儀器成本;
用國產(chǎn)的代替德國進(jìn)口壓電陶瓷,解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題;
增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序,同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能;
表面微觀(guān)不平深度測量范圍:130?1nm
測量的重復性:sRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40X
數值孔徑:0.65
儀器視場(chǎng) 目視:f0.25mm
攝象:0.13X0.13mm
儀器放大倍數 目視:500X
攝象(計算機屏幕觀(guān)察):2500X
接收器測量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2X5.2?m