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    更新時(shí)間:2017-05-18 15:12:57瀏覽次數:499

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    美國Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計, Aalborg控制器

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    AALBORG氣體質(zhì)量流量計

     

    美國Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計, Aalborg控制器

    美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上*的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠(chǎng)家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫藥、環(huán)保等領(lǐng)域。

    產(chǎn)品特點(diǎn):性?xún)r(jià)比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數器

    典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

    設計特點(diǎn):
    -剛性金屬結構 
    -流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到01000slpm
    -zui大壓力500psig34.5Bar 
    -泄漏率110-7氦氣 
    NIST系統標定可追蹤的證明 
    -可傾斜的LCD讀表 
    0-5Vdc4-20mA信號輸出 
    -電路保護 
    -可用作便攜式的設備 
    0100%比例顯示 
    -可配備流量計算機 

    精度:±1.5%滿(mǎn)量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和560psia0.44.1bar)的壓力??蛇x±1%滿(mǎn)量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。 
    重復性:±0.5%滿(mǎn)量程 
    回應時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過(guò)滿(mǎn)量程25-100%一般2 
    溫度系數:0.15%滿(mǎn)量程/℃ 
    壓力系數:0.01%滿(mǎn)量程/psi0.07bar 
    氣體/周?chē)鷾囟龋?/span>32-122℉(5-50℃) 
    輸出信號:0-5Vdc,zui小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 
    傳感器輸出:+12Vdc;zui大200Ω。+24Vdc可選 
    時(shí)間恒量:800ms

    氣體壓力:zui大1000psig70bar)??蛇x20psig1.4bar 
    流體接觸面材質(zhì):AGFC鋁系列為陽(yáng)極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán) 
    BGFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列:316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。 
    方位靈敏度:水平到垂直旋轉低于15度;標準校準是在水平位置 
    連接:GFC173714"卡套螺紋VCR®18"卡套可選(GFC17 
    GFC4738"卡套螺紋 
    GFC5738"卡套螺紋 
    GFC6712"卡套螺紋 
    GFC7734"卡套螺紋 
    VCR®34"卡套可選(GFC77

        

     

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