詳細介紹
東莞市雅之雷德機電科技有限公司專(zhuān)業(yè)設計:真空系統,真空泵系統,真空泵機組,真空*系統,光學(xué)鏡片吸附切割真空系統,系統耐用,持久,質(zhì)量安全放心,服務(wù)周到體貼。歡迎您訂購。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.采用單級真空泵,結構簡(jiǎn)單、操作方便
2.同規格泵均采用具有世界水平的德國*真空泵(自然風(fēng)冷),單級泵可根據用戶(hù)實(shí)際購買(mǎi)能力選用國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)或進(jìn)口產(chǎn)品,抽氣速度快,可快速獲得高的工作真空度。
3.配備管路過(guò)濾器,能有效防止較大顆粒的雜質(zhì)進(jìn)入系統,損壞真空泵。
4.羅茨泵前配備緩沖器,防止油液進(jìn)入真空泵。
5.配備逆止閥,防止真空泵斷電后外界空氣進(jìn)入真空系統。
6.該機標準配置均為封閉式,簡(jiǎn)單使用,節約能源及成本,后續維護方便,多種行業(yè)客戶(hù)使用操作。
典型真空系統介紹:
1、粗真空泵(如水蒸汽噴射或水環(huán)泵)直接從大氣壓下為真空室排氣,組成的真空系統極為粗真空系統。該系統是簡(jiǎn)單的真空系統。
2、低真空系統 用低真空泵(如油封式機械泵)給真空室排氣,即可組成低真空系統。
3、中真空系統 中真空系統一般是有兩個(gè)以上的真空泵串聯(lián)組成的
(1)油增壓泵串聯(lián)油封機械泵組成的真空系統。該系統的工作壓力范圍為1.33~1.3310 -1 Pa。其優(yōu)點(diǎn)是系統簡(jiǎn)單,抽氣能力大,振動(dòng)小,工作穩定可靠,維修方便。缺點(diǎn)是預抽時(shí)間比羅茨泵系統長(cháng)。
(2)羅茨泵串聯(lián)油封機械泵的真空系統。該系統的工作電壓范圍為1.33~1333Pa.優(yōu)點(diǎn)是抽氣能力大,啟動(dòng)快,預抽時(shí)間短。缺點(diǎn)是工作時(shí)噪聲較大。
(3)羅茨泵串聯(lián)小型羅茨泵(中間泵),再串聯(lián)機械泵的真空系統。系統的工作壓力范圍為0.33~1333Pa.該系統不但具備了羅茨泵系統的特點(diǎn),而且加寬了工作壓力范圍和很好壓力縮比。
(4)羅茨泵串聯(lián)水環(huán)泵的真空系統。該系統適合于排除灰塵較多的應用設備,工作壓力范圍在1.3310-2 1.3310-3 Pa。
4、高真空系統:
(1)擴散泵串聯(lián)機械泵的真空系統。此系統可獲得1.3310- ~1.3310-5 Pa的真空度,一般用在工作時(shí)放氣量比較小的應用設備上。該系統的結構簡(jiǎn)單,工作可靠,成本低。缺點(diǎn)是系統啟動(dòng)慢,預抽時(shí)間長(cháng)。擴散泵的油蒸汽容易返流到真空室中去。
(2)擴散泵串聯(lián)油增壓泵,在串聯(lián)油封機械泵的真空系統。該系統的預抽時(shí)間短,但啟動(dòng)較慢。
(3)擴散泵串聯(lián)羅茨泵(機械增壓泵),在串聯(lián)機械泵的真空系統。它的啟動(dòng)慢,但預抽氣時(shí)間短
5、超高真空系統
(1)擴散泵串聯(lián)機械泵冷阱系統。擴散泵串聯(lián)各個(gè)液氮冷阱,而且真空室和冷阱能耐400~450的烘烤。在此溫度下,可以清楚真空室壁及阱壁上吸附的氣體及凝結的泵油。該系統一般可得到1.3310 -7 Pa的極限真空度。
(2)渦輪分子泵串聯(lián)機械泵的真空系統。此系統不烘烤可獲得10 -6 Pa的真空度,烘烤后可達到10 -8 Pa。 該系統的特點(diǎn)是比較清潔,可構成無(wú)油超高真空系統。
(3)濺射離子泵無(wú)油超高真空系統。以濺射離子泵為主泵,使用兩個(gè)分子篩做預抽泵,其中一個(gè)分子篩泵用來(lái)抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體,另一個(gè)用來(lái)抽走烘烤機離子泵啟動(dòng)時(shí)放出來(lái)的氣。
(4)低溫泵超高真空系統。用低溫泵作為主泵,并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵(做預抽真空泵)。該系統也可以用機械泵作為預抽真空泵,但必須在油封機械泵的入口管路上設置油蒸汽捕集器。
(4)組合超高真空系統。對于某些有特殊要求的真空系統,如對于既要求得到超高真空或無(wú)油超高真空,有同時(shí)滿(mǎn)足粗抽需要及能應付工藝過(guò)程中放出來(lái)的大量氣體這樣的系統,可采用組合式系統來(lái)滿(mǎn)足要求。主泵為濺射離子泵,為了提高真空度及排走蒸收材料時(shí)產(chǎn)生的大量氣體,配有鈦升華泵。極限真空度可達6.6710 -7 Pa。用分子篩泵做主泵的預抽泵。此外,系統還配有粗抽系統,在壓力大于1333Pa時(shí),機械泵不易返油,用機械泵直接抽真空室,壓力低于后,機械泵阱吸附阱從旁路抽真空室。
另一種形式組合的超高真空系統。該系統適合于鈉燈封接爐等設備。系統的主泵為濺射離子泵-鈦升華泵組。真空室極限真空可達到510 -7 Pa。系統配有油擴散泵-機械泵組成的機組,用來(lái)粗抽和作為主泵的預抽泵,同時(shí)能抽走工藝過(guò)程中放出來(lái)的大量氣體。
優(yōu)點(diǎn):
實(shí)為一臺或多臺真空泵和一個(gè)真空蓄氣罐,再加上一個(gè)*電源控制箱為主。本公司代客設計適當的系統要求,因而供應于整廠(chǎng)或多方面機械設備應用的真空要求。