Aerotech AGV-SPO高性能單軸振鏡詳細介紹
AGV-SPO高性能單軸點(diǎn)振鏡
關(guān)鍵詞:?jiǎn)屋S振鏡/aerotech激光振鏡/高性能振鏡
Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計掃描儀可替代傳統的兩鏡振鏡掃描儀。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀,可為關(guān)鍵的激光微加工應用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。
設計特點(diǎn)
· 比傳統的2D掃描儀更大的視野,簡(jiǎn)化了較大零件的處理
· 在整個(gè)視場(chǎng)中將光斑失真降至***,從而將質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至***
· 空氣和水冷卻選件可提供熱穩定性并提高*精度
· 適用于各種激光波長(cháng)的多種鏡面處理選擇
模型 | AGV14SPO |
光學(xué)性能 |
光束孔徑 | 14毫米 |
掃描角度 | ±20° |
光束位移 | 35毫米 |
抖動(dòng)(小增量運動(dòng))(2) | RMS 0.3微弧度 |
準確性 | 50微弧度pk-pk |
重復性(3) | 均方根值 0.6 ?rad |
增益誤差 | 0.05弧度 |
非線(xiàn)性度 | 0.005% |
動(dòng)態(tài)表現 |
追蹤誤差 | 0微秒 |
峰值加速度(4,5) | 60,000 m / s 2 |
連續加速(4,6) | 20,000 m / s 2 |
定位速度(4) | 50 m /秒 |
處理速度(4、7、8) | 5 m / s5 |
跳躍和穩定時(shí)間,移動(dòng)1毫米( 4,9 ) | 700微秒 |
穩定性 |
*漂移 | 偏移量 | 10 ?rad / 12小時(shí) |
15微弧度/ 24小時(shí) |
獲得 | 10 ppm / 24小時(shí) |
熱漂移 | 偏移量 | 20微弧度/°C |
獲得 | 1 ppm /℃ |
機械規格 |
大視野,光斑失真小
*的光學(xué)設計可有效控制光束入射光瞳,使其與X和Y掃描儀運動(dòng)保持一致,從而增加了掃描儀系統的有效數值孔徑。這種設計直接為給定的焦距提供了更大的視野,并減少了整個(gè)工作區域上的光斑失真。這些優(yōu)勢意味著(zhù)AGV-SPO能夠更快,更一致地處理更大的零件。
設計配置
AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件,以支持各種常用的激光波長(cháng)和焦距。為了滿(mǎn)足其他需求,Aerotech可以根據要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡,水冷電機或兩者。這些主動(dòng)冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運動(dòng)的情況下,保持工作平面的準確性。
高級編程功能
AGV-SPO充分利用了Aerotech的所有*運動(dòng)和位置同步輸出(PSO)功能,這些功能是為具有傳統振鏡和伺服平臺的激光加工應用開(kāi)發(fā)的。諸如“加速限制”之類(lèi)的輪廓功能可用于自動(dòng)減小急轉彎或小半徑時(shí)的速度,以程度地減小過(guò)沖??梢曰趲в?/span>PSO的反射鏡的位置反饋來(lái)觸發(fā)激光,以確保隨著(zhù)掃描儀速度的改變,一致的光斑重疊。
Aerotech的無(wú)限視場(chǎng)(IFOV)功能無(wú)縫地結合了伺服和掃描儀的運動(dòng),從而在整個(gè)伺服平臺的整個(gè)行程范圍內擴展了掃描儀的標記能力,從而消除了在更傳統的移動(dòng)-曝光-重復過(guò)程中可能發(fā)生的縫合錯誤。

Aerotech AGV-SPO高性能單軸振鏡
高控科技 張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8