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更新時(shí)間：2020-02-15 14:41:16瀏覽次數：927次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺
關(guān)鍵詞：納米定位平臺/壓電平臺/壓電納米定位臺
Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺詳細介紹
Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺
關(guān)鍵詞：納米定位平臺/壓電平臺/壓電納米定位臺
QNP系列壓電納米定位平臺以緊湊，高剛度的封裝提供納米級的性能。多種行程（100μm至600μm）和反饋選項使其成為從顯微鏡到光學(xué)對準的應用的理想解決方案。
緊湊包裝中的高質(zhì)量
QNP壓電平臺受精密撓曲的指導，該撓曲使用有限元分析進(jìn)行了優(yōu)化，以確保高剛度和較長(cháng)的設備壽命。終的設計提供了出色的剛度和諧振頻率，從而實(shí)現了高處理量和快速的閉環(huán)響應。此外，集成的XY封裝程度地減少了平臺堆疊高度和移動(dòng)質(zhì)量，從而實(shí)現了出色的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)多軸性能。
高分辨率和定位精度
所有QNP壓電級均采用*的電容傳感器設計，提供閉環(huán)反饋選項，可實(shí)現亞納米分辨率和高線(xiàn)性度。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出，從而實(shí)現出色的精度和可重復性。
超精密控制
與Aerotech的Q系列控制器和驅動(dòng)器配合使用時(shí)，QNP壓電納米定位臺具有亞納米級的定位分辨率和就位穩定性（抖動(dòng)）以及高定位帶寬。
QNP壓電級可提供電容傳感器反饋或無(wú)反饋（開(kāi)環(huán)）。對于需要緊湊的尺寸，高動(dòng)態(tài)特性和亞納米級定位分辨率，但又不需要定位精度和可重復性的應用，開(kāi)環(huán)提供了一種經(jīng)濟高效的選擇。在通過(guò)外部反饋源（干涉儀，視覺(jué)系統，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開(kāi)環(huán)設計。
可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學(xué)平臺上。QNP系列還包括-L和-Z級，其中公共行程與轉接板一起安裝。
所有QNP壓電平臺均可根據要求提供真空制備版本。
設計特點(diǎn)
· 行程范圍從100μm到600μm
· 設備壽命長(cháng)
· 高精度，無(wú)摩擦的撓性導向系統
· 借助直接計量電容傳感器，可實(shí)現高達0.007％的出色定位分辨率和線(xiàn)性度
· 與其他QNP系列壓電納米定位器的安裝兼容性
· 開(kāi)環(huán)和真空版本
Model | QNP40XY-100 | QNP50XY-250 | QNP60XY-500 | |
Closed-Loop Travel | 100 ?m | 250 ?m | 500 ?m | |
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1) | 120 ?m | 300 ?m | 600 ?m | |
Resolution(2) | Closed-Loop | 0.30 nm | 0.50 nm | 0.90 nm |
Open-Loop | 0.15 nm | 0.20 nm | 0.40 nm | |
Linearity(3,4) | 0.01% | 0.01% | 0.007% | |
Bidirectional Repeatability(5) | 2 nm | 2 nm | 5 nm | |
Pitch/Yaw | 6 ?rad (1.2 arc sec) | 6 ?rad (1.2 arc sec) | 12 ?rad (2.5 arc sec) | |
Stiffness (Direction of Motion)(6) | 1.05 N/?m | 0.36 N/?m | 0.24 N/?m | |
Unloaded Resonant Frequency(6) | Top Axis | 885 Hz | 445 Hz | 315 Hz |
Bottom Axis | 635 Hz | 295 Hz | 200 Hz | |
Resonant Frequency (50 gram load)(6) | Top Axis | 495 Hz | 305 Hz | 240 Hz |
Bottom Axis | 335 Hz | 240 Hz | 170 Hz | |
Maximum Acceleration (Unloaded)(7) | Top Axis | 600 m/s2 | 370 m/s2 | 210 m/s2 |
Bottom Axis | 320 m/s2 | 160 m/s2 | 90 m/s2 | |
Moving Mass (Unloaded) | Top Axis | 42 g | 56 g | 98 g |
Bottom Axis | 79 g | 126 g | 217 g | |
Max Payload(8) | 1 kg | 1 kg | 1 kg | |
Stage Mass | 0.11 kg | 0.17 kg | 0.27 kg | |
Material | Anodized Aluminum(9) | |||
MTBF (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours | |||
QNP-Z壓電納米定位平臺可提供電容傳感器反饋或無(wú)反饋（開(kāi)環(huán)）。對于需要緊湊的尺寸，高動(dòng)態(tài)特性和亞納米級定位分辨率，但又不需要定位精度和可重復性的應用，開(kāi)環(huán)提供了一種經(jīng)濟高效的選擇。在通過(guò)外部反饋源（干涉儀，視覺(jué)系統，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開(kāi)環(huán)設計。
可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學(xué)平臺上。QNP系列還包括-L和-XY位移臺，其中公共行程與轉接板一起安裝。
機械規格（1）
模型 | QNP40Z-100 | QNP50Z-250 | QNP60Z-500 | |
閉環(huán)旅行 | 100微米 | 250微米 | 500微米 | |
開(kāi)環(huán)行程，-30至+150 V （2） | 140微米 | 300微米 | 600微米 | |
解析度（3） | 閉環(huán) | 0.30海里 | 0.50海里 | 0.90海里 |
開(kāi)環(huán) | 0.15納米 | 0.20海里 | 0.40納米 | |
線(xiàn)性度（4,5） | 0.01% | 0.01% | 0.007% | |
雙向重復能力（6） | 1納米 | 1納米 | 3納米 | |
俯仰/滾動(dòng)/偏航 | 15微弧度（3弧秒） | 25微弧度（5弧秒） | 39微弧度（8弧秒） | |
剛度（在運動(dòng)方向上）（7） | 0.96 N /微米 | 0.40 N /微米 | 0.42 N /微米 | |
空載諧振頻率（7） | 1050赫茲 | 510赫茲 | 310赫茲 | |
共振頻率（50克負載）（7） | 620赫茲 | 340赫茲 | 260赫茲 | |
加速度（空載）（8） | 530 m / s 2 | 260 m / s 2 | 220 m / s 2 | |
移動(dòng)質(zhì)量 | 53克 | 83克 | 234克 | |
有效載荷（7） | 1公斤 | 0.8公斤 | 1公斤 | |
舞臺質(zhì)量 | 0.08公斤 | 0.13公斤 | 0.31公斤 | |
材料 | 陽(yáng)極氧化鋁（10） | |||
MTBF（平均*時(shí)間） | 30,000小時(shí) | |||
高控科技 張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8
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