供應Aerotech 高精密轉臺詳細介紹
ABRS超精密轉臺
ABRS氣浮軸承精密運動(dòng)轉臺擁有一個(gè)低矮的外形輪廓,并且能夠提供出眾的角度定位精度,的速度穩定性以及極小的運動(dòng)誤差。ABRS精密轉臺的設計應用于硅片檢測,高精度測量,激光衍射系統,光學(xué)檢測和制造以及納米制造技術(shù)。
特點(diǎn):
1.無(wú)刷無(wú)槽力矩電機直接驅動(dòng)
2.的速度穩定性(無(wú)齒槽效應)
3.佳的運動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
4.直連式高精度圓光柵反饋
5.扁平結構設計
6.氣浮軸承,無(wú)機械接觸
臺面直徑:128~278mm
反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec
雙向重復定位精度:<1arc sec
定位精度: 2 arc sec
異步軸跳: 20nm
異步徑跳: 20nm

ALAR直驅旋轉平臺
1.5種不同的孔徑尺寸:100mm,150mm,200mm,250mm,325mm
2.持續或有限的行程
3.300-1000lb的高軸向負載能力
4.寬大的軸承能提供較高的有效負載和瞬間負載能力
5.的精度和重復定位精度
6.抖動(dòng)和跳動(dòng)小
7.無(wú)接頭電機提供平滑運動(dòng)
8.無(wú)回差效應
9.精度不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉的持續轉速
11.有效負載必須在旋轉中心的應用的完美選擇,AZ滾動(dòng)萬(wàn)向架應用的重要選擇
12.10-6torr真空環(huán)境選項可選
孔徑325mm
精度±3.9arcsec
負載6463N
ALAR型號:
ALAR-34E-A010
ALAR-34E-A011
ALAR-34E-A012
ALAR-34E-A013
ALAR-34E-A014
ALAR-34E-A015
ARMS超精密模擬仿真轉臺
1.為超高精度運動(dòng)而設計。
2.無(wú)刷力矩電機直接驅動(dòng),可選更高速度和力矩電機。
3.突出的速度穩定性。
4.的運動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5.有效載荷達230 kg
6.預裝有集流環(huán)
臺面直徑:146~260mm
反饋分辨率:0.02~4 arc sec
雙向重復定位精度 0.5 arc sec
定位精度 2.5 arc sec
速度波動(dòng)率 0.0001%

ADR系列精密轉臺
ADR系列直接驅動(dòng)轉臺提供精確的角度定位和速度控制。應用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。
特點(diǎn):
1.無(wú)刷力矩電機直接驅動(dòng)
2.無(wú)齒槽設計提供的速度穩定性
3.佳的運動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
4.直連式高精度圓光柵反饋
5.高精度機械軸承支撐
6.載荷可達150kg
臺面直徑:57~240mm
反饋分辨率:0.036~13 arc sec
雙向重復定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
軸跳: 0.5um
徑跳: 1um
ADR-34E-B042
ADR-34E-B043
ADR-34E-B044
ADR-34E-B045
ABRT超精密轉臺
1專(zhuān)為硅片檢測,X射線(xiàn)衍射系統,光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設備制造應用設計
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機直接驅動(dòng)
3突出的速度穩定性,波動(dòng)率低于萬(wàn)分之一(電機無(wú)接頭效應)
4的運動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉編碼器
6扁平結構設計
7無(wú)機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm

高控科技 張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8
供應Aerotech 高精密轉臺詳細介紹