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    南京崛宇精密儀器有限公司


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    ZEISS鎢燈絲掃描電鏡EVO系列

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    產(chǎn)品型號EVO10

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地南京市

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    更新時(shí)間:2024-01-12 16:39:42瀏覽次數:171次

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    經(jīng)營(yíng)模式:其他

    商鋪產(chǎn)品:124條

    所在地區:江蘇南京市

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    蔡司EVO系列模塊化的SEM平臺適用于直觀(guān)操作、例行檢測和研究應用EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀(guān)的、友好的用戶(hù)界面體驗結合在一起,同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶(hù)以及新用戶(hù)

    詳細介紹

    蔡司 EVO 系列

    模塊化的 SEM 平臺適用于直觀(guān)操作、例行檢測和研究應用

    EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀(guān)的、友好的用戶(hù)界面體驗結合在一起, 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶(hù)以及新用戶(hù)。無(wú)論是在生命科學(xué), 材料科學(xué), 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據您的要求量身定制。

    > 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗室的多功能解決方案

    > 不同的真空室大小和可滿(mǎn)足所有應用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

    > 使用LaB6燈絲,能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

    > 對不導電和無(wú)導電涂層的樣品的成像和分析性能出色

    > 可以配置多種分析探測器用于滿(mǎn)足各種顯微分析應用的需求

    優(yōu)勢

    ▲便捷的可用性

    SmartSEM Touch可以通過(guò)使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡(jiǎn)單易學(xué), 大大減少了培訓所付出的努力和成本,甚至新用戶(hù)在幾分鐘內也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶(hù)界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執行可重復檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。


    ▲優(yōu)異的圖像質(zhì)量

    EVO 擅長(cháng)于對未經(jīng)處理和沒(méi)有導電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài), 維持含水和重污染樣品的數據質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰時(shí),選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。



    ▲EVO 能夠與其它設備相關(guān)聯(lián)

    EVO可以作為半自動(dòng)、多模式工作流程的一部分,通過(guò)重新定位感興趣區域,并以多種方式收集數據,形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來(lái)進(jìn)行材料表征或零件檢驗,或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。


    適合更多用戶(hù)操作

    對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶(hù)操作都很方便

    在實(shí)際的實(shí)驗室環(huán)境中,SEM 的操作通常是顯微鏡專(zhuān)家的專(zhuān)屬領(lǐng)域。但是對于非專(zhuān)家級用戶(hù)來(lái)說(shuō),操作SEM就變得具有挑戰,比如學(xué)生、受訓者或質(zhì)量工程師,他們往往也需要從 SEM獲取數據。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類(lèi)用戶(hù)的需求,用戶(hù)界面選項既能滿(mǎn)足有經(jīng)驗的顯微鏡專(zhuān)家也能滿(mǎn)足非專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的操作需要。

    ▲專(zhuān)家用戶(hù)
    優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM

    專(zhuān)家用戶(hù)可以獲取以及設定高級的成像參數和分析功能。

    SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶(hù)使用的控制界面


    ▲新手用戶(hù)

    優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM Touch

    新手用戶(hù)可以使用預定義的工作流程和常用的一些參數-非常適合初學(xué)者。

    SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡(jiǎn)化圖形用戶(hù)界面 


    智能導航與成像

    大大提高樣品的測試效率,以及更多的數據產(chǎn)出

      ▲蔡司導航相機

    相機可以安裝在倉室前方, 以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機);或安裝在真空室倉門(mén)上方 (導航相機), 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預定義位置, 并在整個(gè)樣品測試過(guò)程中輕松導航。


     

       ▲自動(dòng)化智能成像

    EVO實(shí)現了對樣品批量自動(dòng)、無(wú)人值守的圖像采集。蔡司自動(dòng)化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶(hù)能夠自定義邊界區域,自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域,并開(kāi)始自動(dòng)獲取圖像。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測試效率,以及更多的數據產(chǎn)出。


    將您的研究提升一個(gè)層次

    使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

    六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現在以下兩個(gè)方面:

    > 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下, 有更多探針電流可供使用, 從而使圖像導航和優(yōu)化更容易

    > 在相等的探針電流 (信噪比) 下, 光斑直徑要小得多, 從而提高了圖像分辨率


    EVO 能夠與其它設備相關(guān)聯(lián)

    工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

     ▲Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

    由于蔡司是各種類(lèi)型顯微鏡和計量系統的優(yōu)秀供應商, 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結合,使其功能能夠發(fā)揮得更好。

    通過(guò)使用Shuttle & Find(蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分),您可以在(數碼)光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡的光學(xué)對比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結合, 獲得互補的數據, 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。

    德國蔡司ZEISS鎢燈絲掃描電子顯微鏡

    型號:EVO 10
    EVO系列電鏡是高性能、功能強大的高分辨應用型掃描電子顯微鏡。該系列電鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級的物鏡設計,提供高低真空成像功能,可對各種材料表面作分析,并且具有業(yè)界的X射線(xiàn)分析技術(shù)。革命性的Beamsleeve的設計,確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像,同時(shí)還可以進(jìn)行準確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動(dòng)控制。標準的高效率無(wú)油渦輪分子泵能夠滿(mǎn)足快速的樣品更換和無(wú)污染(免維護)成像分析。
     掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀(guān)形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀(guān)察,材料斷口分析和失效分析,材料實(shí)時(shí)微區成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線(xiàn)掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
     鎢燈絲掃描電子顯微鏡EV0 10技術(shù)參數

    1、光學(xué)系統

    1.1、發(fā)射源:鎢燈絲??蛇x擇普通燈絲或預對中式燈絲。具有自動(dòng)電子槍啟動(dòng),自動(dòng)對中,自動(dòng)選擇電子槍偏壓功能。

    1.2、聚焦:具有手動(dòng)及自動(dòng)聚焦功能。

    1.3、光闌:三級可調物鏡光闌,能快速對光闌孔定位,并可作電子束自動(dòng)對中。

    1.4、加速電壓:0.2 - 30kV,10V步進(jìn)連續可調。

    1.5、電子束位移:±20µm。

    1.6、放大倍數:7 - 1,000,000×

    1.7、分辨率:3.0nm @ 30kV(SE)

                 8.0nm @ 3kV(SE)

    1.8、探針電流范圍:0.5 pA - 5 μA,連續可調。

    2、真空系統

    2.1、真空泵系統:渦輪分子泵+機械泵,不需要冷卻水。

    2.2、真空度:真空度:優(yōu)于2×10-4Pa;

    2.3、抽真空時(shí)間:小于3分鐘。

    3、樣品室

    3.1、樣品室類(lèi)型:高剛性、圓形、厚壁,大樣品室。

    3.2、樣品室內部尺寸:310mm(φ)×220mmh)。

    3.3、可放置的樣品尺寸:直徑230mm,高度100mm

    3.4、允許樣品重量:不小于5kg。

    3.5、樣品臺移動(dòng)方式:5軸電動(dòng)計算機優(yōu)中心。

    3.6、樣品臺移動(dòng)范圍:X=80mm, Y=100mm, Z=35mm, T= -10° - 90°, R =360°。

    3.7、樣品臺具有接觸報警與自動(dòng)停止功能。

    3.8、具備樣品位置感知功能。

    3.9、X射線(xiàn)分析條件:出射角 35度;

    4.0、分析工作距離:8.5 – 20 mm。

    4、探測、成像系統

    4.1、高真空二次電子探測器。

    4.2、背散射電子探測器(選配)。

    4.3、具有X射線(xiàn)能譜儀接口。

    4.4、探測器成像模式:同時(shí)對二次電子和背散射電子成像,可用分屏方式同時(shí)顯示兩種圖像,并可在一種圖像中任意位置顯示另外一種圖像。

    4.5、掃描方式:全屏、選區、定點(diǎn)、線(xiàn)掃描、線(xiàn)輪廓、掃描旋轉、傾斜補償。

    4.6、整機系統控制要求獨立控制單元,為檢修提供方便。

    4.7、圖像解析度:32k x 24k像素()。

    4.8、圖像控制:電子光學(xué)性能與易用性相結合的OptiBeam模式(分辨率模式、景深模式、分析模式、視場(chǎng)模式)。

    4.9、操作系統:Windows 7,靈活易用的SmartSEM掃描電鏡操作控制軟件。

    4.10、顯示器:24" TFT

    可選附件

    電鏡可選附件用于增強和拓展電子顯微鏡功能,具體產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。應用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué),能源科學(xué)等領(lǐng)域。

    產(chǎn)品類(lèi)別

    產(chǎn)品名稱(chēng)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    分析設備

    能譜儀

    檢測特征X射線(xiàn)能量,稱(chēng)為能量色散譜儀Energy Dispersive Spectroscopy,簡(jiǎn)稱(chēng)能譜儀EDS)。主要是材料微區化學(xué)成分進(jìn)行定性及定量分析,可以用于金屬、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無(wú)機或有機固體材料分析等。例如:在掃描電鏡下可以結合夾雜物形態(tài)成分進(jìn)行分析;固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析;結合EBSD對未知材料進(jìn)行相鑒定等。

    波譜儀

    利用晶體衍射分光檢測感興趣的特征X射線(xiàn)波長(cháng),稱(chēng)為波長(cháng)色散譜儀(Wavelength Dispersive Spectroscopy),簡(jiǎn)稱(chēng)波譜儀(WDS。與能譜儀相比,波譜儀能量分辨率高,可以將能量非常接近的譜線(xiàn)區分開(kāi),同時(shí)具有更低的元素檢測限,檢測元素含量至0.1‰。

    背散射電子衍射探測器

    電子背散射衍射(Electron Backscatter Diffraction,簡(jiǎn)稱(chēng)EBSD技術(shù),是基于掃描電鏡中電子束在傾斜樣品表面激發(fā)形成的衍射菊池帶的分析,從而確定晶體結構、取向、晶界類(lèi)型、微織構組成及應變分布等相關(guān)信息,是快速而準確的獲得晶體取向信息的強有力的分析工具。EBSD技術(shù)可用于各種晶體材料——金屬、陶瓷、半導體、地質(zhì)、礦石的分析,結合形貌、能譜信息,可以解決在形變、再結晶、相變、斷裂、腐蝕過(guò)程的問(wèn)題。

    加熱臺

    掃描電鏡高溫加熱臺可以動(dòng)態(tài)地觀(guān)察溫度變化時(shí)材料微觀(guān)組織、結構的變化及失效分析,通入氣體可進(jìn)行高溫氣體反應的觀(guān)察,結合EBSD可進(jìn)行不同溫度下原位EBSD實(shí)驗,用于觀(guān)察晶體材料的相變過(guò)程、再結晶形核及長(cháng)大過(guò)程、晶界處的變化等。Gatan系列的加熱臺具有溫度精度高、穩定性好、結構緊湊、樣品座方便拆卸等優(yōu)點(diǎn)。被廣泛應用于液晶檢測、半導體、高分子材料、流體包裹體、生物工程等眾多領(lǐng)域,在冶金材料領(lǐng)域,結合EBSD進(jìn)行再結晶及相變過(guò)程的觀(guān)察等。

    冷凍臺

    低溫氮氣制冷樣品臺模塊,可安裝在現有的SEM 樣品臺上。廣泛應用于:電子束敏感材料-如高分子、地質(zhì)樣品、低溫冷卻后可做微量分析;半導體材料及超導材料-研究低溫相及性能;陰極發(fā)光及EBIC應用。




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