北京合創(chuàng )智達光電科技有限公司
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更新時(shí)間:2022-09-15 11:07:10瀏覽次數:304次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)動(dòng)態(tài)、超精密,嵌入式測量,專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的選擇.ZD-D1500是國內C9大學(xué)、北京合創(chuàng )智達光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。
ZD-D1500是國內C9大學(xué)、北京合創(chuàng )智達光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。
l 在中國計量科學(xué)研究院、中國國家等單位應用 | |
ZD-D1500核心技術(shù)指標均通過(guò)中國計量科學(xué)研究院等法定計量機構的檢定校準。
l 激光真空波長(cháng)準確度 1.2×10-8(k=3) l 動(dòng)態(tài)測量分辨力 0.3 nm l 速度 1500 mm/s l 數據更新率 10MHz |
ZD D1500特征與優(yōu)勢
n 高測速與高精度的統一!突破了高速激光干涉儀的動(dòng)態(tài)信號處理技術(shù),無(wú)論是動(dòng)態(tài)測量還是靜態(tài)監測,均可實(shí)時(shí)提供超精密測量結果! n 非接觸多維振動(dòng)測量!采用自定義的VME硬件接口模式,更新速度10MHz,可實(shí)現即測即知,測量動(dòng)作延遲漂移小于0.3ns,引入動(dòng)態(tài)測量誤差小于0.5ns! | n 本土化產(chǎn)品的快速供應!國外激光測振儀出口受到嚴格管控,而本產(chǎn)品核心部件均來(lái)自國內,30 - 50個(gè)工作日即可供貨,無(wú)需歷經(jīng)嚴苛的審批過(guò)程! n 專(zhuān)家級成套解決方案!超精密級測量?jì)x器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒(méi)。依托本公司超精密測量專(zhuān)家團隊,可提供非接觸性激光測量解決方案! |
應用領(lǐng)域
n 機械模態(tài)分析 n 振動(dòng)傳感器校準 n 微電子光刻機 n 超精密數控機床 | n 高頻聲表面波測試 n 瞬態(tài)微觀(guān)位移捕獲 n 高速三坐標測量機 n 高速機光測長(cháng)機 |
ZD D1500技術(shù)規格
儀器整體規格 | |||
測量速度 | 1500 mm/s(可選2000 mm/s) | ||
測量分辨力 | 0.3 nm | ||
線(xiàn)性精度 | 0.1/0.012ppm(空氣/真空) | ||
數據采樣率 | 10 MHz | ||
穩頻激光器 | |||
真空激光波長(cháng)準確度 | 1.2×10-8 (可選1.0×10-9) | ||
短期頻率穩定度 | 2×10-9/3小時(shí) | ||
長(cháng)期頻率穩定度 | 1.2×10-8/工作周期 | ||
激光輸出功率 | 0.2 - 0.5 mW | ||
干涉鏡組 | |||
單軸干涉鏡組 | 光學(xué)4細分 | ||
多軸干涉鏡組 | 光學(xué)4細分 | ||
光電接收器 | |||
探測頭散熱 | 0 mW | ||
可探測功率 | 0.5 - 50 μW | ||
電子細分卡 | |||
測量分辨力 | 0.3 nm@光學(xué)4細分 | ||
接口形式 | VME/USB | ||
數據更新率 | 10 MHz | ||
空氣折射率補償 | |||
氣壓測量精度 | 10 Pa | ||
濕度測量精度 | 0.8% RH | ||
溫度測量精度 | 0.02 oC | ||
材料溫度補償 | |||
溫度測量精度 | 0.02 oC | ||
測量通道數 | 3通道 (可選15通道) | ||
使用要求 | |||
使用溫度 | 15 - 25 oC | ||
使用濕度 | 20 - 70 % RH | ||
工作時(shí)間 | 20 000 小時(shí) |
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