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該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計，設計用于承受高真空，高壓，高溫，有毒氣體等的使用。
- 所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進(jìn)行泄漏檢測，因此具有高度可靠的泄漏檢測能力。
- 因為是波紋管密封型裝置，不存在針閥軸泄漏的可能性。
- 流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹(shù)脂、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃，因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性
- 具有高精度再現性和穩定性的流量計，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋導向流量計管和超精密球組成，裝設有流暢流量特性的精密針閥。
用途
- 用于真空設備
- 用于半導體生產(chǎn)線(xiàn)
使用示例
尺寸圖
標準規格
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱(chēng) | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實(shí)際氣體校準） 其他氣體在轉換后進(jìn)行校準，實(shí)際氣體校準請另行咨詢(xún) ※選項：2種流體刻度 | 標準流體（H2O） 其他氣體在轉換后進(jìn)行校準 （但是，會(huì )產(chǎn)生與實(shí)際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（計量點(diǎn)）※選項：FS±1％（計量點(diǎn)） | FS±2％（計量點(diǎn)） | |
| 耐壓 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※選項20：1 | ||
| 材質(zhì) | SS制 | |
|---|---|---|
| 主體區塊 | SUS316 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡膠 | |
| 浮標 | 硬質(zhì)玻璃，SUS316 | |
| 保護罩 | 丙烯 | |
| 使用溫度 | 60℃ | |
| 連接端口 | 1 / 4F 900（標準），1/8 F 900（可選），1/4 UJR（選項）* O形密封圈的標準規格（可選配焊接密封） | |
容量列表
可選規格
- F.S. ±1％（計量點(diǎn)）
- 0.5~3ML / MIN空氣（大氣壓）規格
注）全長(cháng)為120mm的情況。 - 全氟醚橡膠O型圈規格
注）沒(méi)有用于關(guān)閉針部的O型圈。
注）氣體1L / MIN以下無(wú)過(guò)濾器。 - 雙刻度規格
- 20：1刻度規格
