員1.png)
5410型是一種質(zhì)量流量計，具有進(jìn)一步改進(jìn)的基本性能。
雖然外觀(guān)是傳統產(chǎn)品，但傳感器驅動(dòng)方法已得到改進(jìn)，以減少零漂移。
它是一種通過(guò)金屬密封結構具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。
- 提高每個(gè)流量范圍的精度
- 適用于微流量（選項規格）
- 由于無(wú)焊接結構（VCR規格），金屬密封，泄漏低
- 價(jià)格便宜
標準規格
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準確性 | ±1％F.S.（20°C） | |
| 溫度系數 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現性 | ±0.2%F.S.（20°C）內 | |
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周?chē)鷾囟?/th> | 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C） | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車(chē)身SUS316L | |
| 隔膜Ni.Co | ||
| 閥座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設定 輸入信號 | 0~5 VDC（最小負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 配件（車(chē)身尺寸） | 標準1/4 VCR等效 | |
| 重量 | 約800g | |
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉換中的規格。
有關(guān)MFC規格，請單獨查詢(xún)。
接線(xiàn)連接
Dsub 9針KFC標準引腳排列
尺寸圖
