蘇州晟宇氣體設備有限公司
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本裝置系統自高溫爐后出口閥門(mén)起（無(wú)油真空泵開(kāi)啟點(diǎn)由高溫爐控制啟停）
本裝置系統自高溫爐后出口閥門(mén)起（無(wú)油真空泵開(kāi)啟點(diǎn)由高溫爐控制啟停）：
A，回收氣自干式真空泵后開(kāi)始，接雙聯(lián)脈沖過(guò)濾器后在氧分儀監控下選擇放空或啟動(dòng)回收氣收集。
B，增壓系統工作：真空泵后排放氣體經(jīng)氧分析儀監控后選擇運行動(dòng)作，啟動(dòng)回收程序，開(kāi)啟氣動(dòng)閥進(jìn)入壓縮機前緩沖罐，在壓力傳感器作用下全自動(dòng)運行，完成系統管道吹掃，在設定數據范圍內自動(dòng)運行，經(jīng)初級過(guò)濾粉塵、精密二級過(guò)濾，冷卻干燥脫水，除氧劑除氧、干燥純化設備深層吸附去除氬氣中的微量氧、水份及氣體微量雜質(zhì)，得到相對純度的氬氣，最后經(jīng)貴金屬精密過(guò)濾器送至工作點(diǎn)使用。
回收氣中氧含量小于200ppm，含有微量一氧化碳和碳氫化合物，或帶有高溫下產(chǎn)生有機化合物等，含有3um以下顆粒物，
回收要求：回收后配純化設備除去氬氣中氧，一氧化碳，二氧化碳，碳氫化合物，有機氣體等雜質(zhì)，配雙聯(lián)脈沖過(guò)濾器過(guò)濾顆粒并收集。
回收裝置組成：
1，從源頭上控制：在真空泵后配置雙聯(lián)脈沖過(guò)濾器過(guò)濾顆粒物并收集，使其進(jìn)回收系統氣體的顆粒物殘留小于0.1um，減少或杜絕在系統運行中造成堵塞風(fēng)險。
2，回收源頭設微量氧分析儀，監測回收氣源中氧含量，按自編程序(含氧量0-1000ppm可選)運行，放空或回收（放空閥門(mén)開(kāi)啟后有聲光報警）。
3，回收純化設備：采用多級純化方式，分段處理，層層分離，使其限度地滿(mǎn)足高純氣需求。
4，回收系統和純化設備以整體撬裝機柜式提供，以一套自動(dòng)控制系統集成控制，整體系統合成在一套移動(dòng)式機柜內，真空泵電源開(kāi)關(guān)由高溫爐控制。整體設備有聯(lián)鎖互鎖功能，杜絕誤操作，數據輸出端有485接口，聯(lián)機可完成數據遠傳，遠程控制。供方提供總控制面板一塊，可鑲嵌至總控制臺完成整套設備的所以控制。
6，整體回收設備以封閉式機柜提供，外觀(guān)電腦灰烤漆，移動(dòng)式腳輪設計（外加固定承壓支柱），外觀(guān)電腦灰烤漆, 獨立操縱面，美觀(guān)協(xié)調，整體占地面積約2m（寬）x2（深）x2m（高）（具體尺寸以實(shí)物為準）
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