光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)的重要設施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
材料
1. 凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設計過(guò)程中,應加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠(chǎng)房改造工程,并結合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠(chǎng)家的經(jīng)濟承受能力,綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個(gè)能滿(mǎn)足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟節能實(shí)用的方案。
1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。