原子光譜分析是將樣品蒸發(fā)、原子化/離子化、激發(fā)，然后將其產(chǎn)生的輻射引進(jìn)光譜儀進(jìn)行檢測的過(guò)程，是檢測無(wú)機元素的方法。對于測定元素成分和含量的分析，如工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的冶煉爐前分析、地質(zhì)勘探測定礦石中的元素含量、材料研制中元素成分的分析等，原子光譜分析起到不可替代的作用。
原子吸收光譜儀利用待測元素所產(chǎn)生的基態(tài)原子對其特征譜線(xiàn)的吸收程度來(lái)進(jìn)行定量分析的方法。原子吸收光譜儀的光源是空心陰極燈，檢測的樣品是溶液。 X射線(xiàn)熒光光譜儀樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。發(fā)射源是Rh靶X光管，盡管二者都是把物質(zhì)激發(fā)后檢測其熒光，但二者的區別很大，從大的方面看主要有兩點(diǎn)：
一、激發(fā)光源不同。
原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少見(jiàn)有用X-射線(xiàn)的；而X-射線(xiàn)熒光則是用X-射線(xiàn)作激發(fā)光源。
二、用途不同。
原熒主要用來(lái)作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而X熒光主要用來(lái)作定性分析和結構分析。當然二者的儀器構造、使用方法、檢測范圍、樣品制備等等都不一樣。
三、兩者的結構與所用的部件基本相同, 差別在于：
?、?為避免激發(fā)輻射進(jìn)人檢測器影響原子熒光信號的檢測,原子熒光光譜儀的檢測器與激發(fā)光束不在同一直線(xiàn)上, 通常成直角配置;
?、?原子吸收光譜分析是測量入射輻射光強與透射輻射光強的比值, 而原子熒光光譜分析是直接測量與交光激發(fā)光源強度成正比的原子熒光強度, 為
?、郢@得zui大的輻照立體角, 許多原子熒光光譜儀不用分光部件。
原子熒光光譜譜線(xiàn)相對簡(jiǎn)單，元素間譜線(xiàn)重疊較少，所以原子熒光光譜儀的光路系統通常較為簡(jiǎn)單，當采用蒸氣發(fā)生法時(shí)，只有能形成氫化物及形成原子蒸氣的元素進(jìn)入原子化區，可以采用非色散系統，因此儀器的光學(xué)系統簡(jiǎn)單、結構緊湊，易于實(shí)現商品化和小型化。
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