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    Inficon PEG100真空計

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    PEG100中真空至超高真空真空計INFICON潘寧PEG100型真空計提供可靠的高真空測量

    詳細介紹

    PEG100 中真空至超高真空真空計

    INFICON 潘寧PEG100型真空計提供可靠的高真空測量。 堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì )出現燈絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì )降低，真空計還可在濺射應用環(huán)境下運行。 現場(chǎng)總線(xiàn)選件，除了對數模擬輸出信號外，允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議將真空計輕松集成到真空系統中。

    PEG100

    益處

    • 測量范圍廣，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
    • 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
    • 創(chuàng )新的電極幾何形狀提供的點(diǎn)火屬性
    • 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中
    • 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
    • 最小化真空計附近的磁場(chǎng)強度
    • 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
    • 對數模擬輸出信號
    • 現場(chǎng)總線(xiàn)接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò )通信將真空計輕松集成到真空系統中

    典型應用

    • 高真空壓力監控
    • 蒸發(fā)濺射系統
    • 高真空范圍內的一般真空測量和控制

     

    零件號 明細
    351-002 PEG100-P 規管
    351-003 PEG100D 型真空計
    351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
    351-005 PEG100-P 規管

     


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