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    Inficon BPG400 真空計

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    InficonBPG400大氣壓至超高真空真空計廣泛測量從超高真空到大氣壓的復合規管技術(shù)INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中，測量范圍從5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

    詳細介紹

    Inficon BPG400 大氣壓至超高真空真空計

    廣泛測量從超高真空到大氣壓的復合規管技術(shù)

    INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。

    BPG40x tiba15_31

    益處

    • 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
    • 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
    • 皮拉尼聯(lián)鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
    • 使用壽命長(cháng)的氧化釔銥絲
    • 備有可選的圖形顯示屏和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
    • 高真空皮拉尼自動(dòng)調節，減少操作員干預
    • RoHS 合規
    • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

    典型應用

    • 對半導體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測量
    • 工業(yè)鍍膜
    • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

     

    零件號明細353-500BPG400 規管353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF353-500-I0BPG400規管353-502-ABPG400規管354-498Spare electronic BPG400 without Display354-499Spare electronic BPG400 with Display353-501BPG400 規管353-502BPG400 規管353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-505復合真空規353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

     


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