蘇州技佳精密儀器有限公司
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產(chǎn)品風(fēng)格：一鍵測量?jì)x 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀...
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。
1）系統光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬(wàn)小時(shí)超長(cháng)壽命，終身無(wú)需更換；
2）測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）
3）多區域自動(dòng)分析：自動(dòng)獲取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等），同時(shí)具有自動(dòng)統計分析功能。提供軟件截圖；
4）具備各種類(lèi)型樣品表面微觀(guān)形貌的3D輪廓重建與測量功能；
5）具備表面粗糙度和微觀(guān)輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；
6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；
7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；
8）具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能；
9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
10）具備word、excel等數據報表導出功能。
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC | |
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3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差 | |
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超精密加工.光學(xué)透鏡 | 精密加工.發(fā)動(dòng)機葉片 |
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精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 標準樣塊.單刻線(xiàn)臺階、多刻線(xiàn)粗糙度 |
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1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；
2）的隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用，獲得的測量重復性。
1）測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；
3）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；
5）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài)，限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。
既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。
六、樣品測試報告：
點(diǎn)擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數據
光學(xué)玻璃鏡片樣品測試報告 |
金屬片表面摩擦磨損樣品測試報告 |
石英砂樣品測試報告 |
手機配件樣品測試報告 |
超光滑凹面樣品測試報告 |
薄膜粗糙度測試報告 |
微光學(xué)器件樣品測試報告 |
微納結構樣品測試報告 |
微透鏡陣列樣品測試報告 |
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