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    日立高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡Regulus8100

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    產(chǎn)品說(shuō)明： Regulus8100是日立冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的*新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達到了0.8nm，15kV達到0.7nm，高低電壓均可...

    詳細介紹


     
    Regulus8100是日立冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達到了0.8nm，15kV達到0.7nm，高低電壓均可滿(mǎn)足高分辨的觀(guān)察。

    產(chǎn)品特點(diǎn)
    1.沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
    2.采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀(guān)察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀(guān)察和分析的*佳性能；
    3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
    4.采用污染小、高真空樣品倉；
    5.運用能量過(guò)濾器(選配)，可觀(guān)察到多種成分對比度*2
     
    應用領(lǐng)域
    2、半導體器件；
    4、生物醫學(xué)；
    技術(shù)參數
    項目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
    二次電子分辨率 0.7 nm(加速電壓15 kV)0.8 nm(著(zhù)陸電壓1 kV）*3 0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著(zhù)陸電壓 1 kV）*3
    著(zhù)陸電壓 0.1～2 kV 0.01～20 kV
    放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4
    樣品臺 樣品臺控制 3軸馬達臺（可選5軸馬達臺） 5軸馬達驅動(dòng)
    移動(dòng)范圍 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm
    Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm
    R 360°
    T -5～70°
    Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm
    再現性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
    *3減速模式下觀(guān)察
    *4以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率


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