產(chǎn)品說(shuō)明： AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動(dòng)馬達臺的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環(huán)節上提供全自動(dòng)操作平臺。新開(kāi)發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過(guò)SEM-AFM共享zuobiao樣品臺可輕松實(shí)現同一視野的相互觀(guān)察?分析。 1. 自動(dòng)化功能 · 高度集成自動(dòng)化功能追求效率檢測 · 降低檢
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動(dòng)馬達臺的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環(huán)節上提供全自動(dòng)操作平臺。新開(kāi)發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過(guò)SEM-AFM共享zuobiao樣品臺可輕松實(shí)現同一視野的相互觀(guān)察?分析。
1. 自動(dòng)化功能
· 高度集成自動(dòng)化功能追求效率檢測
· 降低檢測中的人為操作誤差
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
· 大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動(dòng)所產(chǎn)生的曲面，通常通過(guò)軟件校正方式獲得平面數據。但是，用軟件校正方式不能quan消c掃描器圓弧運動(dòng)的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器，可實(shí)現不受圓弧運動(dòng)影響的準確測試。
高精角度測量
· 普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時(shí)候，會(huì )發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
· AFM5500M中搭載的掃描器，在豎直方向上不會(huì )發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒(méi)有扭曲影響的正確圖像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N（開(kāi)環(huán)控制）時(shí)
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過(guò)SEM－AFM的共享zuobiao樣品臺，可實(shí)現在同一視野快速的觀(guān)察?分析樣品的表面形貌，結構，成分，物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀(guān)察實(shí)例（樣品：石墨烯/SiO2）
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應用數據。
通過(guò)分析AFM圖像可以判斷，SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。
石墨烯層數不同導致表面電位（功函數）的反差。
SEM圖像對比度不同，可以通過(guò)SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。
今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯(lián)用。
技術(shù)參數 | 馬達臺 | 自動(dòng)精密馬達臺
*大觀(guān)察范圍：100 mm （4英寸）
馬達臺移動(dòng)范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
*小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm |
| *大樣品尺寸 | 直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm
樣品重量：2 kg |
| 掃描范圍 | 200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環(huán)控制 / Z：感應器監控） |
| RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下（高分辨率模式） |
| 復位精度* | XY: ≤15 nm(3σ、計量10 μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度) |
| XY直角度 | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 以下 |
| 檢測方式 | 激光檢測（低干涉光學(xué)系統） |
| 光學(xué)顯微鏡 | 放大倍率：x1 ～ x7
視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm
顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器） |
| 減震臺 | 臺式主動(dòng)減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg |
| 防音罩 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg |
| 大小?重量 | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg |
* 參數與設備配置及放置環(huán)境相關(guān)。 AFM5500M zhuan用原子力顯微鏡工作站 | OS | Windows7 |
| RealTune®II | 自動(dòng)調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋 |
| 操作畫(huà)面 | 操作導航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能 |
| X, Y, Z掃描驅動(dòng)電壓 | 0～150 V |
| 時(shí)時(shí)測試（像素點(diǎn)） | 4畫(huà)面（*大2,048 x 2,048）
2畫(huà)面（*大4,096 x 4,096） |
| 長(cháng)方形掃描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| 分析軟件 | 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析 |
| 自動(dòng)控制功能 | 自動(dòng)更換懸臂、自動(dòng)激光對中 |
| 大小?重量 | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg |
| 電源 | AC100 ～ 240 V ±10% 交流 |
| 測試模式 | 標配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
選配項：SEM-AFM聯(lián)用系統 | 可適用的日立SEM型號 | SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型） |
| 樣品臺大小 | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| *大樣品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
| 對中精度 | ±10 µm （AFM對中精度） |
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