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    球差場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000

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    產(chǎn)品說(shuō)明： Hitachis日立*特的200 kV像差校正TEM / STEM：成像分辨率和分析性能的完*結合 在單個(gè)物鏡配置中，STEM可實(shí)現0.078 nm的空間分辨率，并具有較高的樣品傾斜能力和大立體角EDX檢測器...

    詳細介紹

     Hitachi's日立*特的200 kV像差校正TEM / STEM：成像分辨率和分析性能的完*結合 在單個(gè)物鏡配置中，STEM可實(shí)現0.078 nm的空間分辨率，并具有較高的樣品傾斜能力和大立體角EDX檢測器。 將這些積累的技術(shù)整合到一個(gè)新的200 kV TEM / STEM平臺中，可以使儀器具有亞Å成像和分析的*佳組合，并具有靈活性和*特的能HF

     
    Hitachi's日立*特的200 kV像差校正TEM / STEM：成像分辨率和分析性能的完*結合
    在單個(gè)物鏡配置中，STEM可實(shí)現0.078 nm的空間分辨率，并具有較高的樣品傾斜能力和大立體角EDX檢測器。
    將這些積累的技術(shù)整合到一個(gè)新的200 kV TEM / STEM平臺中，可以使儀器具有亞Å成像和分析的*佳組合，并具有靈活性和*特的能HF5000以日立HD-2700專(zhuān)ySTEM的功能為基礎，包括日立自己的全自動(dòng)像差校正器，對稱(chēng)雙SDD EDX和Cs校正的SE成像。 它還結合了HF系列中開(kāi)發(fā)的xian進(jìn)TEM / STEM技術(shù)。
     
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    1.標配日立生產(chǎn)的照射系統球差校正器（附自動(dòng)校正功能）
    2.搭載具有高輝度、高穩定性的冷場(chǎng)FE電子槍
    3.鏡體和電源等的高穩定性使機體的性能大幅度提升
    4.觀(guān)察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀(guān)察原子分辨率SE圖像
    5.采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿
    6.支持高立體角EDX*的對稱(chēng)配置（對稱(chēng)Dual SDD*）
    7.采用*新構造的機體外殼蓋
    8.配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
     
    高輝度冷場(chǎng)FE電子槍×高穩定性×日立制球面像差校正器
    以長(cháng)年積累起來(lái)的高輝度冷場(chǎng)FE電子源技術(shù)為基礎，進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)yi步實(shí)現電子槍的高度穩定性。
    此外，還更新了鏡體，電源系統和樣品臺，以支持觀(guān)察亞Å圖像，并提升了機械和電氣穩定性，然后與日立公司的球差校正器結合使用。
    不僅可以穩定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現快速校正，從而易于發(fā)揮設備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。

     
    Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強度曲線(xiàn)分布（右下）、FFT功率譜（右上）
    支持高立體角EDX*的對稱(chēng)Dual SDD*
    支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實(shí)現更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。
    由于第er檢測器位于第*檢測器的對面位置，因此，幾乎不會(huì )因為樣品傾斜，導致X射線(xiàn)中的信號檢測量發(fā)生變化。所以，即使是結晶性樣品，也不用顧忌信號量，可*全按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。
    此外，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細映射等領(lǐng)域也極為有x。

     
    GaAs（110）的原子柱EDX映射
    像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時(shí)觀(guān)察
    配有標配er次電子檢測器，可同時(shí)觀(guān)察像差校正SEM/STEM圖像。通過(guò)同時(shí)觀(guān)察樣品的表面和內部結構，可以掌握樣品的三維構造。
    在像差校正SEM圖像中，除了可以通過(guò)校正球差來(lái)提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。

    Au/CeO2催化劑的SEM/ADF-/BF-STEM圖像（上段）和Au粒子的高分辨率圖像（下段）

    技術(shù)參數
    項目 內容
    電子源 W（310）冷陰極場(chǎng)發(fā)射型
    加速電壓 200 kV、60 kV*1
    圖像分辨率 STEM 0.078 nm（ADF-STEM圖像）
    TEM 0.102 nm（晶格像）
    倍率 STEM ×20～×8,000,000
    TEM ×100～×1,500,000
    樣品微動(dòng) 樣品臺 偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺
    樣品尺寸 3 mm Φ
    移動(dòng)范圍 X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
    樣品傾斜 α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1）
    像差校正器 配有日立照射系統球面像差校正器（標配）
    圖像顯示 PC Windows® 7 *2
    顯示器 27英寸寬屏液晶顯示器（機體控制顯示器、第er顯示器*1）
    攝像頭 標配伸縮式攝像頭
    屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀(guān)察）

     


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