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    陜西歐派克儀表集團有限公司


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    西安氣體流量計-氣體流量控制器

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    西安氣體流量計-氣體流量控制器 一、產(chǎn)品概述西安氣體流量計(Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM)和氣體流量控制器(Mass Flow Controleiig寫(xiě)為MFC)用 于對微小氣體的流量進(jìn)… 相關(guān)內容 西安質(zhì)量流量計 熱式氣體質(zhì)量流量計 西安氣體流量計-氣體流量控制器

    詳細介紹

    西安質(zhì)量流量計

    一、產(chǎn)品概述

    西安氣體流量計(Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM)和氣體流量控制器(Mass Flow Controleiig寫(xiě)為MFC)用 于對微小氣體的流量進(jìn)行精密測量和控制。是結合微機電系統(MEMS)流量傳感芯片技術(shù)和計算機自適應 技術(shù)歷經(jīng)多年,開(kāi)發(fā)出的智能化全電子式氣體流量?jì)x表。主要技術(shù)性能處于國際..水平，具有高靈敏 度、高精度、大量程比等特點(diǎn)：針對工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計：且具有多種信號 輸岀，能通過(guò)通訊接口實(shí)現網(wǎng)絡(luò )管理功能：本產(chǎn)品在性能' 安裝、維護方面也具有其的*性?？蓮V 泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。
    典型特點(diǎn)如下：
    -采用微機電系統芯片加工技術(shù)和大規模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(cháng)技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到 了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
    -在單個(gè)芯片上實(shí)現了多傳感器集成,使該流量計的量程比(范圍度)大大提高。
    -傳感器零點(diǎn)穩定度較之傳統的熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。
    ?結合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計重復性好，實(shí)現了計量準確可靠。
    -技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的結構簡(jiǎn)化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了 能源消耗。
    -微功耗設計，采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計流量，清晰直觀(guān)，讀數方便。
    -產(chǎn)品融合了電磁兼容設計技術(shù)，具有更高抗力。

    -流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網(wǎng)絡(luò )可實(shí)現集中管理。

    二、典型應用
    氣體流量計/流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要而
    廣泛的應用。其典型的應用場(chǎng)合包括：電子工藝設備，如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺
    射、離子注入，以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、
    混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其
    它各種類(lèi)型的分析儀器。


    西安質(zhì)量流量計
    三、測量原理
    微機電系統(MEMS)芯片傳感技術(shù)，是在硅芯片上集成了具有 機械和電子特征的微米級傳感器.它并不是簡(jiǎn)單地將機械和電子 功能微縮在芯片上，而是采用了現代材料制作技術(shù)與大規模集成 電路技術(shù)相結合獲得新的機電特性。微機電系統芯片可獲得某些 宏觀(guān)機電器件所不能達到的功效.同時(shí)采用了多傳感器和微熱源 技術(shù)，使其具備了優(yōu)良的穩定性、響應時(shí)間短和超大量程等特 點(diǎn)。OPEC-MFM系列氣體質(zhì)量流呈計主要由電源模塊、MEMS流 量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉換模塊、EEPROM存儲器、 RTC實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊以及顯示模塊組成.見(jiàn)右圖(圖1).
    OPEC-MFC由流量傳感器、分流器通道、流量控制電磁調節 閥和放大控制電路等部件組成。
    OPEC-MFC利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布。

    該產(chǎn)品利用流體流動(dòng)傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導效應而制成，采用毛細管傳熱溫差 量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以在一定范圍不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量檢測信號進(jìn) 行放大。然后與設定的流量電壓信號進(jìn)行比較，用所得的差值信號去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通 道的實(shí)際流量使之與設定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生穩定的層流狀態(tài)，用以調整。西安質(zhì)量流量計西安質(zhì)量流量計西安質(zhì)量流量計西安質(zhì)量流量計

    2、產(chǎn)品安裝

    本產(chǎn)品推薦為水平安裝.基座上的箭頭標記方向為介質(zhì)流向.介質(zhì)進(jìn)出端口連接必須正確，進(jìn)口需裝高 效過(guò)濾器。

    安裝步驟如下：
    Q)取出流量計后檢査其外表,確定無(wú)損傷；
    (2) 連接并清潔管道；
    (3) 將流量計安裝到管道上，并注意如下事項；
    ① 為了保證流量計的計量準確性，安裝時(shí)要先連接流量計的上游端，上游直管段應滿(mǎn)足10DN的.低要
    求，下游直管段應滿(mǎn) 足5DN的.低要求。
    ② 流量計安裝時(shí)不能有任何密封物質(zhì)滲入管道內.
    (4) 連接電源電纜線(xiàn)，需要注意接線(xiàn)時(shí)的極性，確保輸入的直流電壓在(5~12)VDC ；
    (5) 如需要連接信號線(xiàn)，應保障信號線(xiàn)與相應用戶(hù)界面端連接無(wú)誤；
    (6) 接通電源.液晶屏顯示正確；
    (7) 開(kāi)啟管道上下游的閥門(mén)，流量計開(kāi)始計量管道中的氣體流量。


    西安質(zhì)量流量計





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