供應芯笙氣體流量計多少錢(qián) 返回列表頁(yè)

新一代工業(yè)級流量傳感器芯片與氣路結構的結合

數字質(zhì)量流量控制器：采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器芯片，結合低壓損氣路結構以及高精度數字控制電路和算法，實(shí)現寬溫范圍內的高精度、高穩定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配備現場(chǎng)調試屏及獨立供電接口，適配半導體 、真空鍍膜、光伏及其它各類(lèi)應用環(huán)境 。

   基于科學(xué)家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比"理論發(fā)展而來(lái)。無(wú)氣流時(shí)，以Heater為中心的溫度場(chǎng)對稱(chēng)分布；有氣流時(shí)，溫度場(chǎng)分布發(fā)生偏移，導致上下游出現溫差，通過(guò)測量該溫差，即可推算出流過(guò)芯片表面的氣體質(zhì)量流量。

   青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，具有*的氣體流道設計，可實(shí)現靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量?jì)H為0.4~0.6%。在電學(xué)信號方面，提供多種數字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級顯示屏，方便客戶(hù)現場(chǎng)調試和配置。