長(cháng)沙科美分析儀器有限公司
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日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000，是日立的200kV球差校正場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù)，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡(jiǎn)化操作，實(shí)現高分辨觀(guān)察與易用性的*結合。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無(wú)窗能譜（EDS）可以對原子級圖像進(jìn)行觀(guān)察和分析，是材料微觀(guān)結構研究的Z佳工具。
日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000
產(chǎn)品介紹：
HF-5000是日立的200kV球差校正場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù)，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡(jiǎn)化操作，實(shí)現高分辨觀(guān)察與易用性的*結合。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無(wú)窗能譜（EDS）可以對原子級圖像進(jìn)行觀(guān)察和分析，是材料微觀(guān)結構研究的工具。
日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000主要特點(diǎn)：
日立研發(fā)的全自動(dòng)STEM球差校正器
高穩定、高亮度的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍
TEM、STEM、SEM三位一體
大面積、大固體角的無(wú)窗能譜儀
全新設計的鏡筒和高壓系統
全新設計的保護罩和熒光屏相機
高穩定性側插樣品桿
兼容日立的特殊樣品桿和FIB系統
技術(shù)參數：
| 項目 | 主要參數 |
| 電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
| 加速電壓 | 60-200kV |
| TEM點(diǎn)分辨率 | 0.23nm |
| HAADF-STEM分辨率 | 0.078nm |
| 能譜 | 無(wú)窗SDD能譜，2 x 100mm2，固體角2.0 Sr |
| 電子能量損失譜 | Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer |
| 圖像模式 | TEM明場(chǎng)像、BF-STEM明場(chǎng)像、ABF-STEM環(huán)形暗場(chǎng)像、HAADF-STEM高角度環(huán)形暗場(chǎng)像、二次電子像、電子衍射花樣、特征X射線(xiàn)像（可選）、EELS像（可選） |
應用領(lǐng)域：
HF-5000作為一款球差校正冷場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，其分辨率達到了亞埃級，可以實(shí)現對樣品的超細微觀(guān)結構的觀(guān)察和分析，適用于金屬、陶瓷、半導體、納米材料等的觀(guān)察。同時(shí)，HF-5000的TEM、STEM、SEM三位一體功能不僅可以實(shí)現對材料內部結構的研究，也可以獲得材料表面的信息。原子級分辨率的二次電子探測器可以彌補TEM和STEM無(wú)法觀(guān)察樣品表面的缺陷，同時(shí)相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以滿(mǎn)足樣品表面高分辨形貌和結構觀(guān)察的需求，與TEM和STEM形成互補。全自動(dòng)化的球差校正過(guò)程又大大簡(jiǎn)化了球差校正透射電鏡的使用難度，提高了觀(guān)察效率，尤其適合測試平臺和科研中心等用戶(hù)。
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