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    深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


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    BPG400 Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計

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    BPG400 Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計BPG400 大氣壓至超高真空真空計 INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中,測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。 多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。 選擇BPG400真空計,價(jià)格經(jīng)濟,且可重復測量基準壓力。市場(chǎng)價(jià): 0.00價(jià)格:0.00產(chǎn)品描述:: 大氣壓至超高真空真空計 型號: BPG400 ......

    詳細介紹

    BPG400 大氣壓至超高真空真空計


    INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中,測量范圍從
    5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。 多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。
    選擇BPG400真空計,價(jià)格經(jīng)濟,且可重復測量基準壓力。


    益處

    • 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
    • 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
    • 皮拉尼聯(lián)鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
    • 使用壽命長(cháng)的氧化釔銥絲
    • 備有可選的圖形顯示屏和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
    • 高真空皮拉尼自動(dòng)調節,減少操作員干預
    • RoHS 合規
    • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

    典型應用

    • 對半導體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測量
    • 工業(yè)鍍膜
    • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

    零件號

    BPG400
    零件號 明細
    353-500 BPG400 規管
    353-500-11 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
    353-500-I0 BPG400規管
    353-502-A BPG400規管
    354-498 Spare electronic BPG400 without Display
    354-499 Spare electronic BPG400 with Display
    353-501 BPG400 規管
    353-502 BPG400 規管
    353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-505 復合真空規
    353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
    353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

    規格

    類(lèi)型 BPG400
    測量范圍(空氣、O2、CO、N2 mbarTorr 5×10-10 … 1000
    精度
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
    可重復性
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
    除氣 (1)
    p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
    壓力, bar (absolute) 2
    溫度
    運行(環(huán)境) °C 0 … +50
    貯存 °C -20 … +70
    在法蘭處烘烤,有延伸件 °C 150
    在法蘭處烘烤,無(wú)延伸件 °C 80
    移除烘烤電子設備 °C 150
    電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
    輸出信號模擬
    輸出信號 V 0 … +10
    測量范圍 V +0.774 … +10
    電壓與壓強 volts per decade 0.75
    錯誤信號 V 0.3 / 0.5
    最小負載電阻 k? 10
    接口(數字)(2) RS232C
    電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
    電纜長(cháng)度, (3) m (ft.) 100 (330)
    暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
    內部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)
    重量 KF / CF g 285 / 550
    保護等級 IP30
    Profibus DP
    波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
    地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
    數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
    模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
    設定點(diǎn)繼電器: 設定點(diǎn)數量 2
    設定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
    設定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    設定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
    設定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 V (dc)A (dc) 60
    Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
    BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male
    DeviceNet™
    協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
    數據率開(kāi)關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
    電纜長(cháng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
    電纜長(cháng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
    電纜長(cháng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
    MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
    數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
    模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
    技術(shù)規格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
    設備類(lèi)型 ''CG'' for combination gauge
    I / O 從屬傳訊 polling only
    設定點(diǎn)繼電器: 設定點(diǎn)數量 2
    設定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
    設定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    設定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
    設定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 V (dc)A (dc) 60
    DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) +11 … +25
    真空計電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
    DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
    BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male

    1) 除氣期間降低精度

    2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列,不允許使用現場(chǎng)總線(xiàn)

    3) 適用于 RS232C 運行 <30m


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