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    深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


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    BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計

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    聯(lián)系人:簡(jiǎn)俊勇

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計 INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計,價(jià)格經(jīng)濟,且可重復測量基準壓力。傳感元件自帶的在軌校準數據在更換傳感器時(shí)確保了高再現性。市場(chǎng)價(jià): 0.00價(jià)格:0.00產(chǎn)品描述:: 大氣壓至超高真空真空計 型號: ......

    詳細介紹

    BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計


    INFICON
    貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計,價(jià)格經(jīng)濟,且可重復測量基準壓力。傳感元件自帶的在軌校準數據在更換傳感器時(shí)確保了高再現性。


    益處

    • 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
    • 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
    • 皮拉尼聯(lián)鎖保護單絲,防止過(guò)早燒毀
    • 兩根使用壽命長(cháng)的氧化釔銥絲
    • 備有可選的圖形顯示屏和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
    • 高真空皮拉尼自動(dòng)調節,減少操作員干預
    • 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
    • RoHS 合規

    典型應用

    • 對半導體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測量
    • 工業(yè)鍍膜
    • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

    新聞

    現有全新EtherCAT數字接口供應!


    零件號

    BPG402-S
    零件號 明細
    353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
    353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-572 BPG402-S 真空計
    353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
    353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-576 BPG402-SD 型真空計
    353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
    353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
    353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R

    規格

    類(lèi)型 BPG402-S
    測量范圍(空氣、O2、CO、N2 mbarTorr 5×10-10 … 1000
    精度
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
    可重復性
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
    除氣 (1)
    p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
    壓力, bar (absolute) 2
    溫度
    運行(環(huán)境) °C 0 … +50
    貯存 °C -20 … +70
    在法蘭處烘烤,無(wú)電子設備 BPG402-S °C 80
    無(wú)電子設備,在法蘭處烘烤 BPG402-SL °C 150
    電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
    輸出信號模擬
    輸出信號 V 0 … +10
    測量范圍 V +0.774 … +10
    電壓與壓強 volts per decade 0.75
    錯誤信號 V 0.1 / 0.3 / 0.5
    最小負載電阻 k? 10
    設定點(diǎn)繼電器
    設定點(diǎn)數量 1
    范圍 mbar 1×10-9 … 100
    繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    滯后 % of reading 10
    觸點(diǎn)額定值 V (dc)A (dc) ≤30
    數字功能 degas
    接口(數字)(2) RS232C
    發(fā)射控制 automatic / manual via interface
    單絲 two Yt2O3 coated Ir
    單絲狀態(tài)/繼電器 LED / relay
    電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
    電纜長(cháng)度, (3) m (ft.) 100 (330)
    暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
    內部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)
    重量 KF / CF g 450 / 710
    保護等級 IP30
    Profibus DP
    波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
    地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
    數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
    模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
    設定點(diǎn)繼電器: 設定點(diǎn)數量 2
    設定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
    設定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    設定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
    設定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 V (dc)A (dc) ≤30
    Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
    CDG(模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male
    DeviceNet™
    協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
    數據率開(kāi)關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
    電纜長(cháng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
    電纜長(cháng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
    電纜長(cháng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
    MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
    數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
    模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
    技術(shù)規格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
    設備類(lèi)型 ''CG'' for combination gauge
    I / O 從屬傳訊 polling only
    設定點(diǎn)繼電器: 設定點(diǎn)數量 2
    設定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
    設定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    設定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
    設定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 V (dc)A (dc) ≤30
    DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) +11 … +25
    真空計電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
    DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
    BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male
    以太網(wǎng)
    以太網(wǎng)協(xié)議 protocol specialized for EtherCAT
    通訊標準 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
    節點(diǎn)地址 Explicit Device Identification
    物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
    以太網(wǎng)數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
    過(guò)程數據 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
    郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information
    以太網(wǎng)連接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
    電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher
    電纜長(cháng)度 m (ft.) ≤100 (330)

    1) 除氣期間降低精度

    2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現場(chǎng)總線(xiàn)

    3) 適用于 RS232C 運行 <30m


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