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    深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


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    Stripe CDG100Dhs 高速電容式隔膜真空計

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    聯(lián)系人:簡(jiǎn)俊勇

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    Stripe CDG100Dhs 高速電容式隔膜真空計Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 托/毫巴 INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是速、高度準確的真空儀器。響應時(shí)間不到 2 ms,配備 EtherCAT 現場(chǎng)總線(xiàn)接口,開(kāi)拓了全新的應用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長(cháng)期提供出眾的量程穩定性,而且具有的零位穩定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲的傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過(guò)程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe 使用創(chuàng )新的加熱概念,提供冰涼的接觸表面和的速度性能,可實(shí)現的生產(chǎn)力提升,使其成為同類(lèi)產(chǎn)品中的真空儀器。市場(chǎng)價(jià): 0.00價(jià)格:0.00產(chǎn)品描述:: 耐腐蝕、100°C高速電容式膜片真空計、0.1 ...1000Torr / mbar ......

    詳細介紹

    Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 托/毫巴


    INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是速、高度準確的真空儀器。響應時(shí)間不到 2
    ms,配備 EtherCAT
    現場(chǎng)總線(xiàn)接口,開(kāi)拓了全新的應用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長(cháng)期提供出眾的量程穩定性,而且具有的零位穩定性。Stripe 隨附
    INFICON 已獲的傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過(guò)程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe
    使用創(chuàng )新的加熱概念,提供冰涼的接觸表面和的速度性能,可實(shí)現的生產(chǎn)力提升,使其成為同類(lèi)產(chǎn)品中的真空儀器。


    益處

    • 高生產(chǎn)力 - 響應時(shí)間快于 2 ms
    • 靈活集成 - EtherCAT 現場(chǎng)總線(xiàn)
    • 使用壽命長(cháng) - 經(jīng)驗證的陶瓷傳感器
    • 忘記重新校準 - 90ppm/年穩定性

    典型應用

    • 原子層沉積
    • 高速過(guò)程控制
    • PVD、CVD、刻蝕
    • 一般高溫真空應用

    零件號



    規格

    類(lèi)型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
    精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
    溫度效應
    零點(diǎn) percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
    滿(mǎn)量程 % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
    壓力, kPa (absolute) 400 260 130
    分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
    讀數 percent FS 0.01 0.01 0.01
    建議的讀數 percent FS 0.05 0.05 0.05
    建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5
    溫度
    運行(環(huán)境) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
    在法蘭處烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
    貯存 °C –20 … +85 –20 … +85 –20 … +85
    電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
    功耗
    加熱時(shí) W ≤16 ≤16 ≤16
    運行溫度 W ≤11 ≤11 ≤11
    輸出信號(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
    反應時(shí)間 (2) ms 2 2 2
    保護等級 IP 30 IP 30 IP 30
    標準
    CE 合規 EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
    ETL 認證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
    SEMI 合規 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
    電氣連接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
    設定點(diǎn)
    設定點(diǎn)數量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
    繼電器觸點(diǎn) V (dc)A (dc) ≤30 ≤30 ≤30
    滯后 percent FS 1 1 1
    診斷端口
    協(xié)議 USB USB USB
    讀數 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
    設置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
    暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
    內部容積
    內部容積 1/2'' 管 cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
    內部容積 DN 16 ISO KF cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
    內部容積 DN 16 CF-R cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
    內部容積 8 VCR® cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
    重量
    重量 1/2'' 管 g 837 837 837
    重量 DN 16 ISO KF g 852 852 852
    重量 DN 16 CF-R g 875 875 875
    重量 8 VCR® g 897 897 897
    EtherCAT
    協(xié)議 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
    通訊標準 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
    節點(diǎn)地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
    物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
    數字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
    數字功能設置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
    過(guò)程數據 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
    郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
    EtherCAT 連接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
    電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
    電纜長(cháng)度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)

    (1) 非線(xiàn)性,遲滯,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復性,2 小時(shí)工作后無(wú)溫度影響。

    (2) 提高 10 … 90 % FS



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