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    深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


    QMG 700 分析質(zhì)譜儀

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    QMG 700 分析質(zhì)譜儀QMG 700 分析質(zhì)譜儀超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩定性和細微的分辨率 半導體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴(lài)于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠(chǎng)或實(shí)驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限，推動(dòng)工藝創(chuàng )新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來(lái)的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。 根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過(guò)九個(gè)數量級的動(dòng)態(tài)測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個(gè)質(zhì)量范圍都有很高的分辨率，對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長(cháng)期穩定性可保證關(guān)鍵性的測量，有效控制您的工藝。 INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和的技術(shù)，確保QMG 700 成為進(jìn)行氣體分析的正確選擇。依賴(lài) INFICON QMG 700 以及我們享譽(yù)世界的應用專(zhuān)長(cháng)，您可獲得始終如一的高精度......

    詳細介紹

    QMG 700 分析質(zhì)譜儀

    超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩定性和細微的分辨率

    半導體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴(lài)于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠(chǎng)或實(shí)驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限，推動(dòng)工藝創(chuàng )新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來(lái)的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。


    根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過(guò)九個(gè)數量級的動(dòng)態(tài)測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個(gè)質(zhì)量范圍都有很高的分辨率，對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長(cháng)期穩定性可保證關(guān)鍵性的測量，有效控制您的工藝。

    INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和的技術(shù)，確保QMG 700 成為進(jìn)行氣體分析的正確選擇。依賴(lài) INFICON QMG 700 以及我們享譽(yù)世界的應用專(zhuān)長(cháng)，您可獲得始終如一的高精度測量數據。


    功能

    • 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
    • 超過(guò)九個(gè)數量級的動(dòng)態(tài)量程
    • 極快的測量速度：0.125 ms/amu
    • MDPP < 10E-16 mbar

    • 涵蓋整個(gè)質(zhì)量范圍的高分辨率：質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內清晰地分離

    • 超過(guò) 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合
    • 離散或連續倍增電極電子倍增器選件
    • 用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數前置放大器
    • IO 選項：8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數字輸入/輸出
    • 軟件功能強大，靈活實(shí)用且具友好的用戶(hù)界面

    典型應用

    • Gas discharge mass spectrometry
    • End point detection
    • Deposition material monitoring
    • Secondary ion mass spectrometry

    零件號

    QMA 400
    零件號 明細
    490-709
    490-710 QMA 400 with axial Ionenq.
    490-711 QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
    490-712 QMA 400 mit CB-IQ, MAG
    490-713 QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
    490-721 QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
    490-722 QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
    490-755
    490-756 QMA 400, 8mm Mo, UF6
    490-756-2 QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
    490-770 QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
    490-772 QMA 400 with Axial Ionenq, W
    BKM07627
    PTM07736 QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
    QMA 410
    零件號 明細
    490-811 QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
    490-813 QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
    490-816 QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
    QMA 430
    零件號 明細
    490-911 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
    490-912 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
    490-921 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

    規格

    類(lèi)型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
    質(zhì)量范圍 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
    傳感器長(cháng)度 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
    桿直徑 8 mm 16 mm 8 mm
    桿材料 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
    法蘭 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
    檢測器類(lèi)型 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
    工作壓力 (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
    工作壓力 (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
    靈敏度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
    最小可檢測分壓 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
    分辨率（可調） 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
    分壓比 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
    工作溫度 傳感器 150 °C 150 °C 150 °C
    烘烤溫度 400 °C 400 °C 400 °C
    工作溫度 電子單元 40 °C 40 °C 40 °C
    測量速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
    電源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

    (1) QMA 400 的可檢測質(zhì)量范圍為：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

    QMA 400 的規格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統配置

    (2) QMA 410 的可檢測質(zhì)量范圍： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

    QMA 410 的規格基于 128 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統配置


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