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    深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


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    GM50A質(zhì)量流量控制器

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    GM50A質(zhì)量流量控制器MKS GM50A金屬密封數字質(zhì)量流量控制器，滿(mǎn)量程范圍從5 sccm – 50 slm，精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶(hù)通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。市場(chǎng)價(jià)： 0.00價(jià)格：0.00

    詳細介紹

    MKS GM50A金屬密封數字質(zhì)量流量控制器，滿(mǎn)量程范圍從5 sccm – 50 slm，精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶(hù)通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。

    GM50A是一種金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應用場(chǎng)合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

    對于當今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，GM50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。

    技術(shù)參數：

    全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，50000SCCM。

    控制量程：2% to 99%的全量程。

    測量精度：全量程的1%

    靈敏度：全量程的0.1%

    熱機時(shí)間：小于2Min.

    響應速度：小于2Sec.

    輸入電壓：±15VDC@100ma

    輸出電壓：0-5VDC

    連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

    數字：RS485或Device net或Profibus

    法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4"等

    材質(zhì)：316不銹鋼。


    例：型號GM50A013502R6M010(代表的是氣體介質(zhì)是氮氣，流量是500sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是金屬密封）


    GM50A質(zhì)量流量控制器 采購系列號GM50A

    用于標準的氣體(SEMI Gas編號）


    氮氣，N2 013
    氨氣，NH3 029
    六氟化硫，SF6 110


    流量范圍，SCCM滿(mǎn)量程（相當于氮氣）


    5 500
    10 101
    20 201
    50 501
    100 102
    200 202
    500 502
    1000 103
    2000 203
    5000 503
    10000 104
    20000 204
    30000 304
    50000 504


    裝配件（法蘭接口）

    Swagelok 4VCR male R
    1/4 Swagelok S





    通訊接口


    Profibus 4
    RS485 5
    DeviceNet 6
    Analog 0 to 5 VDC（9針D型） A
    Analog 0 to 5VDC （15針D型） B
    Analog 4 to mA（15針D型） H


    密封材料

    標配：金屬 M






    預留MKS的未來(lái)應用


    標準 0


    固化軟件版本


    除非另有說(shuō)明，MKS會(huì )安裝訂貨日期的固化版本軟件 10



    滿(mǎn)量程流量為3位數字顯示，前兩位表示量程流量的有效數字，由小數點(diǎn)分開(kāi)；第三位表示10的指數


    注：氣體可選，替代MKS 1479A質(zhì)量流量控制器


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