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    杭州華盼科技有限公司


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    RTS-1345全自動(dòng)四探針測試系統

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號RTS-1345

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地杭州市

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    更新時(shí)間：2023-08-23 13:20:23瀏覽次數：97次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    簡(jiǎn)要描述：RTS-1345型全自動(dòng)四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動(dòng)測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專(zhuān)用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用儀器。

    詳細介紹

    RTS-1345
    型
    		 全 自 動(dòng) 四 探 針 測 試 系 統
    可對樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測試；
    屏蔽測試，消除光線(xiàn)對樣品測試的影響，保證測量的準確性；
    吸附測試，消除全自動(dòng)測試過(guò)程中樣品移動(dòng)對測試的影響；
    可不連接電腦使用進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測試并把測試結果同時(shí)顯示于顯示屏；

    RTS-1345型全自動(dòng)四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動(dòng)測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專(zhuān)用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用儀器。
    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制進(jìn)行全自動(dòng)測試，然后把測試數據采集到計算機中加以分析，以表格、圖形方式統計分析顯示測試結果。
    RTS-1345型全自動(dòng)四探針測試系統面板

    點(diǎn)擊放大圖片
    RTS-1345型四探針軟件測試系統是一個(gè)運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進(jìn)行統計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分析。


    點(diǎn)擊放大上圖圖片

    技　術(shù)　指　標 ：
    測量范圍
    		 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；
    方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
    電導率：0.0005～10000 s/cm；
    電阻：0.0001～2000Ω.cm；
    可測晶片直徑
    		 Φ=200mm；
    恒流源
    		 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調
    數字電壓表
    		 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
    分辨力：10μV；
    輸入阻抗：>1000MΩ；
    精度：±0.1% ；
    顯示：四位半紅色發(fā)光管數字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；
    四探針探頭基本指標
    		 間距：1±0.01mm；
    針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
    機械游移率：≤0.3%；
    探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
    探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
    四探針探頭應用參數
    		 (見(jiàn)探頭附帶的合格證)
    模擬電阻測量相對誤差
    ( 按JJG508-87進(jìn)行)
    		 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
    整機測量較大相對誤差
    		 (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
    整機測量標準不確定度
    		 ≤5%
    測試模式
    		 連接電腦使用可對樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測試，不連接電腦情況下可進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測試并把測試結果同時(shí)顯示于顯示屏。
    消除測試過(guò)程中影響因素
    		 屏蔽和吸附測試，消除光線(xiàn)和全自動(dòng)測試過(guò)程中樣品移動(dòng)對樣品測試的影響，保證測量的準確性。
    標準使用環(huán)境
    		 溫度：23±2℃；
    相對濕度：≤65%；
    無(wú)高頻干擾；
    無(wú)強光直射；


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