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    杭州華盼科技有限公司


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    自動(dòng)橢圓偏振測厚儀

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號EX2

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地杭州市

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    更新時(shí)間:2023-08-23 16:51:14瀏覽次數:136次

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    經(jīng)營(yíng)模式:其他

    商鋪產(chǎn)品:420條

    所在地區:

    聯(lián)系人:錢(qián)經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    簡(jiǎn)要描述:EX2自動(dòng)橢圓偏振測厚儀是一款自動(dòng)測量型教學(xué)儀器。

    詳細介紹

    EX2自動(dòng)橢圓偏振測厚儀是基于消光法(或稱(chēng)“零橢偏”)橢偏測量原理,針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測量型教學(xué)儀器。
    EX2儀器適用于納米薄膜的厚度測量,以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測量。
    EX2儀器還可用于同時(shí)測量塊狀材料(如,金屬、半導體、介質(zhì))的折射率n和消光系數k。

    特點(diǎn):

    • 經(jīng)典消光法橢偏測量原理

    儀器采用消光法橢偏測量原理,易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過(guò)程。

    • 方便安全的樣品水平放置方式

    采用水平放置樣品的方式,方便樣品的取放。

    • 緊湊的一體化結構

    集成一體化設計,簡(jiǎn)潔的儀器外形通過(guò)USB接口與計算機相連,方便使用。

    • 高準確性的激光光源

    采用激光作為探測光波,測量波長(cháng)準確度高。

    • 豐富實(shí)用的樣品測量功能

    可測量納米薄膜的膜厚和折射率;塊狀材料的復折射率、樣品反射率、樣品透過(guò)率。

    • 便捷的自動(dòng)化操作

    儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測量,并可進(jìn)行方便的測量數據分析、儀器校準等操作。

    • 安全的用戶(hù)使用權限管理

    軟件中設置了用戶(hù)使用權限(包括:管理員、操作者等模式),便于儀器管理和使用。

    • 可擴展的儀器功能

    利用本儀器,可通過(guò)適當擴展,完成多項偏振測量實(shí)驗,如馬呂斯定律實(shí)驗、旋光測量實(shí)、旋光等。

    應用

    EX2適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測量,也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。
    EX2可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽(yáng)電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

    技術(shù)指標:

    項目
    技術(shù)指標
    儀器型號
    EX2
    測量方式
    自動(dòng)測量
    樣品放置方式
    水平放置
    光源
    He-Ne激光器,波長(cháng)632.8nm
    膜厚測量重復性*
    0.5nm (對于Si基底上100nm的SiO2膜層)
    膜厚范圍
    透明薄膜:1-4000nm
    吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān)
    折射率范圍
    1.3 – 10
    探測光束直徑
    Φ2-3mm
    入射角度
    30°-90°,精度0.05°
    偏振器方位角讀數范圍
    0-360°
    偏振器步進(jìn)角
    0.014°
    樣品方位調整
    Z軸高度調節:12mm
    二維俯仰調節:±
    允許樣品尺寸
    圓形樣品直徑Φ120mm,矩形樣品可達120mm x 160mm
    配套軟件
    * 用戶(hù)權限設置
    * 多種測量模式選擇
    * 多個(gè)測量項目選擇
    * 方便的數據分析、計算、輸入輸出
    較大外形尺寸
    (入射角度70°時(shí))550*375*260mm
    儀器重量(凈重)
    約15Kg
    選配件
    * 半導體激光器
    注:(1)測量重復性:是指對標準樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續測量30次所計算的標準差。

    性能保證

    • ISO9001國際質(zhì)量體系下的儀器質(zhì)量保證
    • 專(zhuān)業(yè)的橢偏測量原理課程
    • 專(zhuān)業(yè)的儀器使用培訓


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