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    SYSC-100高精度程控勻膠機

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號SYSC-100

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地杭州市

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    更新時(shí)間：2023-08-23 17:23:40瀏覽次數：106次

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    商鋪產(chǎn)品：420條

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    聯(lián)系人：錢(qián)經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    簡(jiǎn)要描述：SYSC-100高精度程控勻膠機，又稱(chēng)為旋轉涂膜儀，是較新一代旋轉涂膜設備。

    詳細介紹

    一. 產(chǎn)品應用

    SYSC-100高精度程控勻膠機，又稱(chēng)為旋轉涂膜儀。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導體、太陽(yáng)能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類(lèi)納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。

    二. 產(chǎn)品特點(diǎn)

    1. 旋轉電機采用專(zhuān)為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高可靠性。

    2. 優(yōu)異的旋轉加速性能，旋轉加速度可達20000rpm/s（有負載的真實(shí)加速度）。

    3. 兩項安全互鎖功能：

    (1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過(guò)程中飛片造**身傷害；

    (2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無(wú)法吸附牢固，則立即停止運行。

    4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

    5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。

    6. 旋轉吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

    7. 勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程蕞多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續可調?？蓛Υ?/span>50組工藝程序，隨時(shí)調用。

    8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數實(shí)時(shí)顯示，更直觀(guān)了解勻膠進(jìn)程；

    9. 真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。

    10. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時(shí)間”蕞多為99s，確?；喂涛接谛D臺后再進(jìn)行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片

    步 驟，“解吸片時(shí)間”蕞多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋 放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

    11. 標配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。

    技術(shù)參數:

    產(chǎn)品型號

    SYSC-100

    可鍍膜基片尺寸

    Ø10～100mm

    旋轉速度

    10～10000rpm

    轉速分辨率

    1rpm

    速度精度

    ＜0.02%

    旋轉加速度

    0～20000rpm/s

    每段加速時(shí)間

    999.9s

    每段旋涂時(shí)間

    9999.9s

    時(shí)間分辨率

    0.1s

    預吸片時(shí)間

    99s

    解吸片時(shí)間

    99s


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