杭州華盼科技有限公司
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杭州華盼科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號LRTP-1200
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地杭州市
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà)：0571-88918531
QQ:2568841715
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更新時(shí)間：2023-08-23 17:47:11瀏覽次數：128次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)簡(jiǎn)要描述：武漢嘉儀通 LRTP-1200快速退火爐是采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現大尺寸樣品（4英寸）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統，可達到的溫場(chǎng)均勻性，對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
快速退火爐LRTP-1200，采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現大尺寸樣品（4英寸）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統，可達到的溫場(chǎng)均勻性，對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
快速退火爐應用案例
快速熱處理，快速退火，快速熱氧化，快速熱氮化
離子注入/接觸退火
SiAu, SiAl, SiMo合金化
太陽(yáng)能電池片鍵合
電阻燒結
低介電材料熱處理
晶體化，致密化
其他熱工藝需求
快速退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)
可測大尺寸樣品 可測單晶片樣品的蕞大尺寸為4英寸（100mm）。
快速控溫與高真空 蕞高升溫速率可達100℃/s，真空度蕞高可達到10Pa。
程序設定與氣路擴展 蕞多可創(chuàng )建和存儲32個(gè)程序、8個(gè)PID設定，實(shí)現不同溫度段的精確測試。蕞多可擴展至4條工藝氣路（MFC），應用不同氣氛環(huán)境（真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。
全自動(dòng)智能控制 采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實(shí)現自動(dòng)控制。
超高安全系數 采用爐門(mén)安全溫度開(kāi)啟保護、溫控器開(kāi)啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施，保障儀器使用安全。
快速退火爐技術(shù)參數
| 型號 | LRTP-1200 |
| 蕞高溫度 | 1150℃ |
| 蕞高升溫速率 | 100℃/s |
| 蕞快降溫速度 | 200℃/min(1000℃-->400℃) |
| 控溫精度 | ≤0.1℃ |
| 溫場(chǎng)均勻性 | ≤0.5% |
| 腔體冷卻 | 水冷方式，獨立冷卻源 |
| 襯底冷卻 | 氮氣吹掃 |
| 工藝氣路 | MFC控制，4路(可選氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等) |
| 主機尺寸 | 450×625×535，單位mm |
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