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    凱戈納斯儀器商貿（上海）有限公司


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    SAL-3000PlusALD原子層沉積...

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號SAL-3000Plus

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間：2024-10-23 20:42:01瀏覽次數：153次

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    聯(lián)系人：Vicky

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    SAL-3000PlusALD原子層沉積...

    詳細介紹

    SAL-3000Plus ALD原子層沉積系統

    SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子層沉積系統，可通過(guò)連接STR2000轉移單元，與退火設備SAN2000Plus，鍍膜設備，SVE2000Plus蒸鍍設備，SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控濺射設備搭配；

    SAL-3000Plus SAL3000-Plus+STR2000+SAN2000Plus

    性能及特點(diǎn)：

    1.鍍膜質(zhì)量高

    · 膜厚均勻性≤3% @ 100mm

    · 對于內孔、凹槽與高深寬比結構具有良好的沉積均勻性；

    · 膜厚可準確控制達一個(gè)原子層；

    · 大面積制程可達到無(wú)孔洞薄膜（Pin Hole free）

    · 的重復性及穩定性

    · 材料缺陷密度低

    · 可成長(cháng)非晶型或結晶薄膜（選擇溫度）

    2.兩種成膜方向可選

    · 可選擇將薄膜沉積在基底上表面和基底下表面，薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著(zhù)基底的風(fēng)險。

    3. 可通過(guò)STR2000與其它Plus系列設備串聯(lián)

    4.最多可搭載6路前驅體

    5.優(yōu)異的真空性能：真空度≤5Pa

    6.圖形用戶(hù)界面，觸控操作，簡(jiǎn)單易用，可存儲30多種鍍膜方案

    7.與SAL3000相比，寬度減少了40％

    6. 可搭配多種配件：
    干式真空泵，臭氧發(fā)生器，尾氣處理裝置，800℃基底加熱器，200℃前驅體加熱器等，退火設備等；


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