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    SuperLIX-R非接觸法激光熱膨脹儀

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    SuperLIX-R非接觸法激光熱膨脹儀

    詳細介紹

    應用案例
    * 零膨脹材料的研制
    * 負極負熱膨脹材料的研制
    * 標準材料開(kāi)發(fā)
    * 致動(dòng)器材料的開(kāi)發(fā)
    用途
    * 10-9/K級極低膨脹系數材料（玻璃，陶瓷，金屬等）的高精度熱膨脹測量
    * 半導體生產(chǎn)裝置光學(xué)曝光元件的測量
    * 測量精密載物臺零件
    * 航空航天相關(guān)高精度所需材料的測量
    * 高精度光圖基板構件的測量
    * 低膨脹系數材料的質(zhì)量控制
    * 標準熱膨脹儀校準樣品的測量
    特點(diǎn)
    * 通過(guò)在設備中包括振動(dòng)消除機構，可以防止振動(dòng)擾動(dòng)的影響，并且可以在能夠穩定使用普通電子天平（0.01毫克分辨率）進(jìn)行分析的環(huán)境中進(jìn)行測量。（日本：2016-058190、058191、058192）
    * 測量樣品相對于激光波長(cháng)（632.8 nm）的位移量。集成光學(xué)元件可以消除雜散光，提高干涉條紋信號的 信噪比。不需要特殊位移校準的測量和操作。
    * 通過(guò)用圖像傳感器檢測干涉條紋并對其進(jìn)行圖像處理，即使在樣品測量過(guò)程中，也可以以高分辨率（1納 米）計算位移（膨脹/收縮）量，并確認膨脹系數。
    * 符合JIS R3251-1990標準
    設備參數
    應用實(shí)例


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