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    凱戈納斯儀器商貿（上海）有限公司


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    RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號RTP-6

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間：2024-10-23 20:48:14瀏覽次數：110次

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    聯(lián)系人：Vicky

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

    詳細介紹

    RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

    RTP-6升溫速率可達80℃/s。

    RTP-6采用拋物線(xiàn)形的黃金反射面，可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統可進(jìn)行快速的熱處理，適合熱處理工藝的研究與開(kāi)發(fā)?？捎糜诎雽w工藝中硅化物的形成以及半導體化合物的過(guò)程退火。

    應用：

    1. 離子注入后的活化退火

    2. 沉積氧化膜的退火

    3. 歐姆電極合金化

    4. PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結晶退火

    5. 硅化物及自對準硅化物的生成

    6. 發(fā)光元件，半導體激光基板的熱處理

    7. 超淺結的生成

    8. 鐵電電容器沉積

    9. 柵氧化膜的生成

    特點(diǎn)：
    • 快速熱處理
    • 腔體采用水冷，可進(jìn)行快速降溫
    • 真空置換氣氛后，可采用流動(dòng)氣氛進(jìn)行熱處理
    • 溫度程序設置和外部信號輸入可以通過(guò)腦輕松控制
    • 加熱過(guò)程的溫度數據也可以顯示在電腦上
    • 石英保護板（可選）可以安裝在腔室內以防止污染
    • 配備了各種安全措施
    • 九個(gè)獨立的加熱區可實(shí)現不同尺寸樣品均勻的溫度控制

    組成：

    1. 紅外金面反射爐

    2. 加熱腔

    3. 可編程溫控器

    4. 9個(gè)獨立的加熱區

    5. 跨度變換單元

    6. 氣體管路系統

    7. 熱氣排出系統

    8. 爐體框架，開(kāi)關(guān)板

    9. 高溫計（可選）

    10. 水冷機（可選）

    11. 真空泵（可選）

    參數：


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