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    行業(yè)產(chǎn)品

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    凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司


    RTA系列快速熱退火爐

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    產(chǎn)品型號RTA

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間:2024-10-23 20:49:37瀏覽次數:110次

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    RTA系列快速熱退火爐

    詳細介紹

    RTA系列快速熱退火爐

    RTA系列可處理2~12 英寸(50~300mm)的樣品,10s內即可到設置的退火溫度。

    該爐體采用水冷壁的結構,結合紅外加熱的高能量密度,近紅外的波長(cháng)快速升溫特點(diǎn),搭配高精度,快速響應的溫控器進(jìn)行精確溫度控制。

    RTA系統可滿(mǎn)足用戶(hù)對于工藝配方的控制(溫度控制,升降溫速率控制,氣氛及氣體流量控制等)。RTA系統有助于找到的熱處理方式

    應用

    · 離子注入后的活化退火

    · 沉積氧化膜的退火

    · 歐姆電極合金化

    · PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結晶退火

    · 硅化物及自對準硅化物的生成

    · 發(fā)光元件,半導體激光基板的熱處理

    · 超淺結的生成

    · 鐵電電容器沉積

    · 柵氧化膜的生成

    特點(diǎn):

    · 升溫速率可達200℃/s

    · 可搭配自動(dòng)傳樣機器人

    · 可連接半導體制造設備

    · 各個(gè)加熱區的燈管功率單獨可控,可以對不同尺寸的樣品實(shí)現均勻加熱

    參數:


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