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    凱戈納斯儀器商貿（上海）有限公司


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    SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號SAL-1000

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間：2024-10-23 21:02:17瀏覽次數：125次

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    聯(lián)系人：Vicky

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...

    詳細介紹

    SAL-1000 ALD原子層沉積系統

    SAL-1000Series是由日本AGUS生產(chǎn)的桌面型ALD原子層沉積設備，可搭載2路前驅體。適用于4英寸（φ 100mm）基片的沉積，并可搭載粉末樣品架和手套箱。

    SAL-1000Sseries原子層沉積設備具備如下特點(diǎn)：

    1. 良好的成膜性能，膜厚均勻性高，≤3%

    ·對于內孔、凹槽與高深寬比結構具有良好的沉積均勻性；

    · 膜厚可精準控制達一個(gè)原子層；

    · 大面積制程可達到無(wú)孔洞薄膜（Pin Hole free）

    · 的重復性及穩定性

    · 材料缺陷密度低

    · 可成長(cháng)非晶型或結晶薄膜（選擇溫度）

    2. 優(yōu)異的真空性能，真空度≤5Pa

    3. 觸控操作，簡(jiǎn)單易用；

    ·觸摸屏使用戶(hù)可以輕松設置配方或沉積過(guò)程，并檢查每個(gè)驅動(dòng)系統的運動(dòng)。

    ·可進(jìn)行自動(dòng)沉積，并在沉積完成后自動(dòng)完成N2排放。

    ·手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動(dòng)完成。

    4. 配件豐富，可滿(mǎn)足多種試驗需求：

    基底旋轉架、粉末樣品配件、手套箱、臭氧發(fā)生器、尾氣處理設備、200℃前驅體的加熱器，干式真空泵等；

    粉末沉積配件：傾斜框架可調整的角度為0 ~ 45°，更便于粉末成膜。單次可對5cm3的粉體進(jìn)行表面沉積；


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