STK-780半自動(dòng)晶圓預切割膜貼膜機 返回列表頁(yè)

手動(dòng)放置和取出晶圓/承載環(huán)

自動(dòng)膠膜進(jìn)給和貼膜

支持各種膜類(lèi)，包括預切割膜、非預切割膜、DAF膜、特種膜類(lèi)

自動(dòng)圓形切刀用于非預切割膜的切割

自動(dòng)收卷襯紙，適用于UV膜和非UV膜

晶圓臺盤(pán)溫度可編程控制，可達120℃

標準8"晶圓臺盤(pán)用于8"晶圓，可配置金屬臺盤(pán)或高密度陶瓷臺盤(pán)

PLC控制，帶5.7"觸摸屏

配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監控

貼膜質(zhì)量

沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

每小時(shí)產(chǎn)能

≥80片晶圓

MTBF

>500小時(shí)

MTTR

<1小時(shí)

停機時(shí)間

<3%

晶圓直徑

8"& 12"

晶圓厚度

50~750微米

晶圓種類(lèi)

正常的V型缺口晶圓

膜種類(lèi)

預切割膜、DAF膜、非預切割膜、或者UV膜

寬度：290毫米預切割膜/DAF膜

         320毫米UV/非UV膜

長(cháng)度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圓承載環(huán)

8"DISCO 或者K&S標準

貼膜定位精度

±1mm

裝卸方式

手動(dòng)晶圓/承載環(huán)放置與取出

防靜電控制

去離子風(fēng)扇

臺盤(pán)溫度

室溫~ 120℃，可編程控制

切割系統

環(huán)型切刀用于8"DISCO承載環(huán)

控制單元

基于PLC 控制，帶5.7"觸摸屏

安全防護

配置光簾保護和緊急停機按鈕

電源電壓

單相交流電220V,16A

壓縮空氣

60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺

機器結構

全鋁型材制造，堅固耐用

機器外殼

白色噴塑金屬外殼

體積

800毫米(寬)*1450毫米(深)*1980毫米(高)

凈重

350公斤