TESCAN GAIA3電鏡系統的集成了超高分辨率的電子光學(xué)系統和高性能的離子束系統,二者配置于同一樣品室上。GAIA3電鏡以MAIA3場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡為平臺,在保留MAIA3性能的基礎上,增加了使用聚焦離子束進(jìn)行樣品表面處理的功能。GAIA3具有創(chuàng )新性的場(chǎng)發(fā)射電鏡設計,低電壓下仍具有出色的分辨率,大大提高了其成像能力。與一般電鏡的電磁物鏡相比,GAIA3具有較窄小的電磁物鏡,同時(shí)InBeam-SE探頭和InBeam-BSE探頭的位置都位于透鏡內,這些設計都為FIB及其他分析設備提供了充足空間,使之能夠在樣品表面完成多項工作。
GAIA3的突出特點(diǎn)
·單極60°電磁物鏡設計,的SEM分辨率
·的多種成像模式—大視場(chǎng)模式,分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN的大視場(chǎng)光學(xué)系統設計
·馬達控制的精準樣品臺,可進(jìn)行精確的移動(dòng)或傾轉操作
·Field-free模式下可對磁性樣品進(jìn)行有效觀(guān)察
·高達200nA的束流強度
·停留時(shí)間低至20ns的快速電子束刻蝕速度
·FIB的Cobra光學(xué)系統,確保聚焦離子束的分辨率和優(yōu)異的性能,離子束流為1pA到50nA
·強大的DrawBeam軟件包,包含許多可編程設計模塊(基礎版和高級版)來(lái)實(shí)現掃描及制樣等過(guò)程中可調參數的多樣化
·不僅具有對樣品表面進(jìn)行修飾和觀(guān)察的多種功能,的空間設計還能夠使電鏡通過(guò)接口兼容多種探測設備與技術(shù)手段,且還能保持一致的分析工作距離
GAIA3的功能特點(diǎn)
對納米尺度物質(zhì)的成像分析及控制,是當今順利開(kāi)展研究工作的關(guān)鍵,這要求前沿的技術(shù)手段具有分辨率、準確度、可重復性、穩定性以及靈活性等多方面的優(yōu)異性能。
在前幾代電鏡系統的成功基礎上,TESCAN推出了GAIA3新一代電鏡系統。它保持了SEM的納米級分辨率特征,同時(shí)還集成了的COBRA-FIB聚焦離子束功能,使新一代GAIA3電鏡擁有更加多元化的分析設備兼容性,提高了分析范圍和分析能力。
GAIA3的一個(gè)突出優(yōu)點(diǎn)在于它低電壓下的掃描電子成像功能,分辨率很高。這對于研究電子敏感材料或是導電性差的樣品極為重要,低電壓可以降低電子與材料相互作用,從而保證好的分辨率同時(shí)還能獲得好的低電壓襯度。
COBRA-FIB聚焦離子束系統是一項技術(shù),不論成像拍照還是樣品微觀(guān)加工,都能保持很高的尺寸分辨率,是納米工程領(lǐng)域的FIB設備。
系統靈活性與工具多樣性
TESCAN致力于為科研人員提供操作便捷、結果可靠、系統穩定的解決方案與技術(shù)手段。TESCAN設備的用戶(hù)分級設計能夠滿(mǎn)足所有操作者的需求,無(wú)論你是應用專(zhuān)家,還是偶爾操作人員(只需要通過(guò)簡(jiǎn)單操作便可獲得出色的實(shí)驗結果)。應用專(zhuān)家模式是為長(cháng)期使用TESCAN電鏡系統,能夠充分了解和發(fā)揮電鏡靈活性和擴展功能的熟練操作人員設計。TESCAN電鏡系統將眾多功能特點(diǎn)整合于的交互界面,方便快速完成SEM和FIB各種工作模式與功能的觀(guān)察條件設置。
使用GAIA3電鏡可以輕松獲得的圖像質(zhì)量與襯度,尤其是其的低電壓拍照功能。當然,二次電子(SE)與背散射電子(BSE)拍照模式在高電壓與低電壓條件下均可使用,獲得高質(zhì)量樣品照片。
GAIA3還配備了的自由伸縮式STEM探頭,使用FIB制得TEM薄片樣品后可直接進(jìn)行電鏡觀(guān)察。另外,在FIB與SEM雙束電鏡上安裝飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS),一方面能夠提高質(zhì)譜敏感性,另一方面使用FIB對樣品表面連續進(jìn)行連續切割,可獲得樣品質(zhì)量分布的三維分布圖。
GAIA軟件與自動(dòng)化操作系統
TESCAN的用戶(hù)友好型軟件、許多自動(dòng)化程序、遠程控制系統及腳本庫都致力于幫助用戶(hù)獲得出色的結果,得到業(yè)界與用戶(hù)的一致認可。GAIA3更是為經(jīng)驗豐富的用戶(hù)提供了專(zhuān)家級系統設置的訪(fǎng)問(wèn)權,使用戶(hù)能夠根據自身需求進(jìn)行觀(guān)察條件的化設置。GAIA3擁有多用戶(hù)使用環(huán)境、模塊化軟件設計、網(wǎng)絡(luò )操作控制以及眾多的擴展功能,是一款靈活全面的電鏡設備。