廣州儀控自動(dòng)化儀表股份有限公司
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小氣體流量計MFC2
一、 產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點(diǎn)是可靠性高、重復性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應時(shí)間較快，測量精度高，無(wú)需要溫度壓力補償。
二、 技術(shù)參數
2.1 測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍： DN3 100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴大
((d)特殊需要可聯(lián)系廠(chǎng)家單獨標定
2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。
三、 工作原理
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現在傳統的熱式質(zhì)量流量計無(wú)法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個(gè)法線(xiàn)方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過(guò)程中產(chǎn)品穩大定性存在問(wèn)題，實(shí)際應用中的熱式質(zhì)量流量計價(jià)格昂貴，大規模應用比較難"的問(wèn)題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時(shí)可靠性穩定,安全性更好。
在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動(dòng)態(tài)響應時(shí)間大大提高。當傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周?chē)纬晒潭ǖ臏囟葓?chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來(lái)計算：
式中：氣體流動(dòng)方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過(guò)芯片時(shí)，將會(huì )帶走熱量，通過(guò)質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關(guān)系來(lái)計算流體的質(zhì)量流量。
四、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實(shí)現自動(dòng)調節、控制閥門(mén)。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著(zhù)提升。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現微小流量測量的數字化。
4、單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優(yōu)化設計，智能化的數據處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復性，實(shí)現了計量的準確、可靠。
5、結構的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到最小化。
6、采用國際的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩定、可靠。
7、零點(diǎn)自校功能，測量更準確。
8、多種氣體實(shí)際標定，全量程補償。
9、快速響應、數據自動(dòng)存儲，配合上位機可實(shí)現網(wǎng)絡(luò )集中管理。
10、規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶(hù)要求單獨標定。
11、精度等級高，滿(mǎn)足用戶(hù)高精度測量要求。
12、的流量計報警功能，使監控更可靠。
13、操作、設置界面友好、簡(jiǎn)便，可根據需要自行設定相關(guān)參數。
1
14、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。
1五、產(chǎn)品分類(lèi)與命名
微氣體質(zhì)量流量計的型號命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
接頭類(lèi)型 Connector Type | 0：普通 | |||||||||
1：Swagelok接頭 | ||||||||||
2：其他 | ||||||||||
連接形式 | 0：快速接頭 | |||||||||
1：法蘭式 | ||||||||||
標定方式 Calibration Way | 0：空氣 | |||||||||
1：氫氣 | ||||||||||
2：氧氣 | ||||||||||
3：氮氣 | ||||||||||
品種
| 01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 | |||||||||
02：有顯示；有485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||||||||
03：有顯示；無(wú)485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||||||||
04：有顯示；無(wú)485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||||||||
05：無(wú)顯示；有485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||||||||
06：無(wú)顯示；無(wú)485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||||||||
材質(zhì) Texture | 0：304不銹鋼l | |||||||||
1：316不銹鋼 | ||||||||||
2：316L不銹鋼 | ||||||||||
3：鋁 | ||||||||||
4：其他 | ||||||||||
壓力
| 0：≤0.3Mpa | |||||||||
1：≤0.6Mpa | ||||||||||
2：≤1.0Mpa | ||||||||||
被測介質(zhì) | ||||||||||
流量范圍 | ||||||||||
產(chǎn)品通徑
| 03：DN3 | |||||||||
06：DN6 | ||||||||||
08：DN8 | ||||||||||
10：DN10 | ||||||||||
產(chǎn)品類(lèi)型
| M：質(zhì)量流量計 | |||||||||
C：質(zhì)量流量控制器 | ||||||||||
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