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    JSM-7610FPlus 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    JSM-7610FPlus,用于納米科學(xué)的肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒(méi)式物鏡、擁有超高分辨率的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀(guān)察微細結構和進(jìn)行微區元素分析。

    詳細介紹

    JSM-7610FPlus,用于納米科學(xué)的肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒(méi)式物鏡、擁有超高分辨率的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀(guān)察微細結構和進(jìn)行微區元素分析。

    技術(shù)指標:

    特點(diǎn)

    半浸沒(méi)式物鏡

    超高空間分辨率(1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm)

    利用新一代r-過(guò)濾器選擇能量

    自由選擇二次電子和背散射電子

    利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像

    選擇通道襯度和來(lái)自樣品表面的信息

    浸沒(méi)式肖特基電子槍

    提供分析時(shí)需要的大電流(200 nA 15 kV),壽命長(cháng)(發(fā)射體保證3 年)

    豐富的附件

    可以安裝EDS、WDS、STEM、CL 等多種附件

    半浸沒(méi)式物鏡的示意圖

    半浸沒(méi)式物鏡在樣品周?chē)纬蓮姶艌?chǎng),因而可以獲得超高分辨率。

    超高分辨率觀(guān)察實(shí)例

    柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

    柔和電子束模式(GB 模式)通過(guò)給樣品施加負電壓,從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著(zhù)陸電壓,因此可以在低加速電壓下( 100 V)進(jìn)行高分辨觀(guān)察。

    由于電子束在樣品中散射區域減小,就會(huì )容易地觀(guān)察樣品淺表面的精細結構,能減少對熱敏樣品的損傷,可以直接觀(guān)察非導電性樣品。

    JSM-7610FPlus 在 GB 模式下(1 kV)的分辨率為 1.0 nm。

    GB 模式的效果

    GB 模式在低電壓下提高分辨率

    增強了的低加速電壓下的分辨率


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