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    Diener等離子清洗機NANO系列

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    Diener等離子清洗機NANO系列

    詳細介紹

    低壓等離子清洗機 Diener NENO系列

    低壓等離子技術(shù)，氣體在真空中通過(guò)獲取能量從而被激發(fā)。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。等離子效應可分為以下三類(lèi)：

    一微砂噴射：材料表面通過(guò)離子轟擊被消減

    二化學(xué)反應：材料表面與離子化的氣體發(fā)生化學(xué)反應

    三紫外線(xiàn)放射：紫外射線(xiàn)將長(cháng)鏈碳化合物分解

    NANO多種配置，滿(mǎn)足不同客戶(hù)需求

        VERSION A

    VERSION C

    VERSION D

       VERSION B

    VERSION E

    Nano 等離子系統能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Nano 等離子系統一同使用的見(jiàn)的選裝件： Nano 等離子系統主要應用于以下領(lǐng)域：

    • 分析

    • 考古

    • 汽車(chē)行業(yè)

    • 研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)

    • 半導體技術(shù)

    • 小批量生產(chǎn)

    • 塑料技術(shù)

    • 醫療技術(shù)

    • 微系統技術(shù)

    • 傳感器

    • 滅菌

    • 紡織技術(shù)

    技要參數：


    Nano系列

    控制系統

    半自動(dòng)型

    PCCE 控制系統  (MicrosoftWindows CE)

    PC 控制系統 (Microsoft  Windows POS Ready 2009)

    體積

    18~36L

    真空腔室

    圓形不銹鋼件，配有蓋子
    （大約Φ267 mm, 長(cháng) 420 mm 或者長(cháng) 600 mm）或者

    矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén)
    （約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm）

    配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén)
    （大約Φ 240 mm, 長(cháng) 400 mm 或者長(cháng) 600 mm）

    配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)
    （大約Φ240 mm, 長(cháng) 400 mm 或者長(cháng) 600 mm）

    配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)
    （大約Φ 240 mm, 長(cháng) 400 mm 或者長(cháng) 600 mm）

    電極

    單層或多層

    RIE

    樣品支架

    （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

    氣源

    針型閥

    質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

    壓力計

    Pirani

    Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

    計時(shí)器

    數字型

    高頻電流發(fā)生器

    40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W

    13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

    2.45 GHz: 功率 0 - 600 W

    所有發(fā)生器均為 0 - 99%  無(wú)級可調型

    真空泵

    規格和制造商均各有不同（按照活性炭過(guò)濾器的需要）

    電源

    臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位

    其他選項

    備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當地語(yǔ)言的文件、現場(chǎng)安裝，包括培訓?？蓱筇峁┑钠渌x項。


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