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    Diener 等離子清洗機 FEMTO

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    聯(lián)系人：張經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    技術(shù)應用鏈接:特點(diǎn)：低壓等離子系統

    詳細介紹

    技術(shù)應用鏈接:

    特點(diǎn)：

    · 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理

    · 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現控制高機能

    · 經(jīng)濟型等離子清洗機，小型腔體

    · 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

    · 操作簡(jiǎn)單易使用

     

     

    Diener 等離子清洗機 FEMTO技術(shù)參數：

    型號

    FEMTO

    FEMTO PCCE

    控制系統

    手動(dòng)控制

    PCCE 控制系統

    工藝氣路

    雙路或三路氣體

    工藝氣體

    O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

    單體導入

    H2O，親疏水涂層等單體（選配）

    流量計

    針閥流量計（防腐蝕）

    MFC流量計（防腐蝕）

    真空

    腔體

    材質(zhì)

    高硼硅玻璃/石英

    蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

    不銹鋼

    蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

    鋁合金

    鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

    圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm

    95×280( 600)

    100×278( 600)

    —

    方形腔體 內尺寸 （W×D×H）mm

    —

    103×285( 600)×103 mm

    110×300( 600) ×120

    容積

    2 L~4.2L

    2.2L~6.4L

    4L~8L

    電極

    360度外置環(huán)繞電極

    平行平板電極

    發(fā)生器*

     

    40KHz     0~100 W

    100KHz    0-500W

    13.56MHz  0~50 W 或者0~300 W

    2.45GHz   0-300W

    真空壓力計

    指針式壓力計

    皮拉尼數字式壓力計

    計時(shí)器

    模擬數字式

    數字式

    托盤(pán)

    高硼硅玻璃/石英，不銹鋼

    外形尺寸（WXDxH）mm

    310-560x420-600x330-860mm

    電源

    AC220V 50Hz 10A

    真空泵

    排氣速度不小于4m3/H

     

    更多詳細資料，可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司，電話(huà)！電話(huà)！

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