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    Diener 等離子清洗機 NANO

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    技術(shù)應用鏈接:特點(diǎn)低壓等離子系統

    詳細介紹

    技術(shù)應用鏈接:

    特點(diǎn)

    · 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理

    · 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現控制高機能

    · 中型尺寸腔體可處理多種樣品

    · 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

     

     

    技術(shù)規格：

    型號

    NANO

    NANO PCCE

    控制系統

    手動(dòng)控制

    PCCE 控制系統

    工藝氣路

    雙路或三路氣體

    工藝氣體

    O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

    單體導入

    H2O，親疏水涂層等單體（選配）

    流量計

    針閥流量計（防腐蝕）

    MFC流量計（防腐蝕）

    真空

    腔體

    材質(zhì)

    高硼硅玻璃/石英

    蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

    不銹鋼

    蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

    鋁合金腔體

    鉸鏈門(mén)

    圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm

    240×400(600) *1

    267×420（600）*1mm

    —

    方形腔體內尺寸  （W×D×H）mm

    —

    240×420（600）*1×240mm

    240×420（600）*1×240

    容積

    18L~27L

    24L~34L

    24L~34L

    電極

    360度外置環(huán)繞電極

    平行平板電極

    發(fā)生器*

     

    100 kHz   0-500W

    80 kHz    0-1000W

    13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W

    2.45 GHz  0-600W

    真空壓力計

    指針式壓力計

    皮拉尼數字式壓力計

    計時(shí)器

    模擬數字式

    數字式

    托盤(pán)

    高硼硅玻璃（石英選配），不銹鋼

    外形尺寸（WXDxH）mm

    560x600-750x600-860mm

    電源

    AC220V 50Hz 10A

    真空泵

    排氣速度不小于16m3/H

     

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