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    鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


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    鈣鈦礦太陽(yáng)能電池多工位手套箱

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    聯(lián)系人：汪紀彬

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    簡(jiǎn)單介紹： 該設備用于制備多組份、多層復合的致密的金屬/非金屬、金屬氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金屬氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均勻的薄膜材料，其中靶材可為金屬/非金屬的單組份或多組份材料（包含磁性靶材材料），也可為金屬/非金屬化合物的單組份或多組份材料。樣品能夠在該設備系統真空室內的薄膜沉積處原位退火處理。此外，采用磁控濺射鍍膜后的樣品可以進(jìn)行硒化、硫化處理?？蓱糜诓牧蠈W(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、微電子、光電子、能源、催化、納米技術(shù)等領(lǐng)域。

    詳細介紹

    詳情介紹：

    技術(shù)規格：

    本系統由進(jìn)樣室、硫化/硒化室、兩個(gè)濺射室（3靶位+4靶位）、濺射控制系統、加熱系統、真空測量系統、泵抽系統、樣品傳輸控制系統、氣氛控制系統、水循環(huán)制冷系統、完成樣品制備過(guò)程電控系統及電腦/觸摸屏程序控制系統等組成；

    系統配置可在真空環(huán)境條件下移動(dòng)樣品的機械手臂，實(shí)現樣品在腔體之間的移動(dòng),樣品在腔室之間傳遞動(dòng)作完成后15分鐘內相關(guān)腔室真空度恢復到樣品傳遞之前的水平；

    兩濺射室可分別實(shí)現3靶位和4靶位的靶材共濺射，相互之間電源等系統無(wú)相互干擾，各靶材單獨濺射不受其他靶材的影響，且不污染其它靶材；

    系統具有完善的自動(dòng)保護功能,其中硒化/硫化爐的抽氣入口具有防蒸汽侵蝕保護措施；

    各室結構材料均采用上等不銹鋼材料，氬弧焊接和表面拋光處理。


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