中山利豐精密測量?jì)x器有限公司
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聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)產(chǎn)品型號:SJ6000產(chǎn)品名稱(chēng):SJ6000激光干涉儀測量方式:?jiǎn)晤l穩頻精度:0
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今的高精度、 高靈敏度的測量?jì)x器,在制造領(lǐng)域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時(shí); 采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù),可實(shí)現高精度、抗力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、 調理及細分技術(shù),可實(shí)現4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償; 采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。
其中,線(xiàn)性鏡組為標配,由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉(見(jiàn)圖)。若光程差沒(méi)有變化時(shí),探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
若光程差有變化時(shí),探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí),在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
◆精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù),可實(shí)現高精度、抗力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
◆功能廣
● 可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等;
● 可實(shí)現龍門(mén)機床雙軸同步測量;
● 可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準;
● 可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等;
● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。
◆軟件強
● 友好的人機界面;
● 豐富的應用功能模塊;
● 向導式的操作流程;
● 簡(jiǎn)潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
榮譽(yù)證書(shū)
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